电子束蒸发台
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********年**月****意向-**** 详细情况
| **** | |
| 项目所在采购意向： | ********年**月****意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | **** |
| 预算金额： | ***.*******元(人民币) |
| 采购品目： |
********* 电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
子束蒸发台是集成电子束蒸发的物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及*些金属电极，如****，***，**，**，**等，尤其是剥离工艺（****-*** *******）。 电子束蒸发系统是半导体器件制备工艺中不可缺少的仪器设备。本项目根据实际科研需求计划采购*台子束蒸发台。
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| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位****工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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