松山湖材料实验室2024年07月至2024年08月政府采购意向
2024-07-02
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正文
****|;采购意向公开;********智慧云平台
公告标题: ********年**月至****年**月****意向
公告发布时间: ****-**-** **:**:**
公告性质: 正常公告
公告编号: ********************************
为便于供应商及时了解****信息,根据《财政部关于开展****意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实****政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|---|
* | **** |
标的名称:临界点干燥仪
标的数量:*
主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下晶片****等器件的临界点干燥工艺。
需满足的要求:"需满足的工艺技术指标: *、样品尺寸:*-*寸; *、干燥器件:****器件、生物传感器及各类微机械传感器等; *、干燥介质:液态*氧化碳(****); *、单次*寸晶圆处理能力:≥*片; *、内置过滤装置,过滤流进样品室的液态*氧化碳:≤*.***; *、压力范围:*-*******; *、温度范围:-**至**℃。"
|
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | *,***,***.** | ****年**月 | |
* | ****铟蒸发台设备采购项目 |
标的名称:铟蒸发台
标的数量:*
主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下晶片**柱蒸发制备工艺
需满足的要求:"主要技术指标和要求: *)样品尺寸:*寸向下兼容,可进行碎片工艺; *)蒸发入射角<*°; *)工件台可控低温不高于-**℃,控温精度优于±*℃; *)片内均匀性:≤±*%(*寸); *)工艺重复性:≤±*%;"
|
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位****工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****
****年**月**日
![](https://m.bidizhaobiao.com/reversion/img/xqy_jianbian@2x.png)
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