********* 真空应用设备

*.采购标的名称：**** *.采购标的需实现的主要功能或者目标：光电器件制备系统可在高真空环境下对有机和金属材料进行蒸发镀膜，并且可以实现在真空条件下完成金属和有机掩膜的切换。 *.采购标的数量：*套 *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：*、样品盘可以容纳*个** ** * ****的蒸镀基片，可真空条件下更换掩膜； *、蒸发源：**组 *、极限真空优于：*.****-***； *、从常压到*×**-* **不超过*****（充氮气保护，从手套箱内操作）；从常压到*×**-* **不超过*****（大气环境下）。 *、***测试系统可实现*°/*°/*.*°/*.*°光阑电动切换式，波长范围：***-*****，分辨率：***，亮度范围：*.***-********/**（标准*光源），亮度准确度：±*%，亮度重复性：*.*%（*.***/**以上），色度准确度：*±*.***，*±*.***（标准*光源），色度重复性：*.****（*.***/**以上）。