华电院采购共聚焦射频磁控溅射系统竞价结果(JJ24062109323834)
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中标
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代理
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正文
华电院采购****竞价结果(****************)
华电院采购****
竞价结果(****************)
成交单位：****
成交价： ******.***元
说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起*天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
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采购单位：****师范大学
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联系人：****
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*-****：无
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联系电话：***-********
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传真：无
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联系手机：无
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邮编：无
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平台联系电话（异议）：***-********；*******@**.***
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项目名称：
华电院采购****
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竞价编号：****************
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采购类型：货物类
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开始时间：****-**-** **:**:**
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项目预算(元)：***,***.**
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结束时间：****-**-** **:**:**
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质保期及售后要求：产品整机免费保修期不少于*年，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后，若仪器发生问题，对相关的技术问题能在**小时内及时进行响应，供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在*个工作日内仍不能解决问题，供方工程师应在其后**小时内赶到需方现场进行检修；若发生现场不能解决的问题，供方可将仪器（或故障部件）带回国内办事处进行处理，处理时间最长不超过**个工作日。质保期内，供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后，若仪器发生故障，供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理，供方只收取相应的材料费。
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其他要求：无
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响应情况
| 资格及商务响应情况 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 项目 | 竞价要求 | 响应情况 | ||
| 资格条件 | 原厂或者原厂授权。 | 原厂 | ||
| 付款方式 | 签订合同后预付合同款的**%，验收合格后付剩下的**%。 | 签订合同后预付合同款的**%，验收合格后付剩下的**%。 | ||
| 交付时间 | 签订合同后*天送货 | 签订合同后 签订合同后**日送货。 天送货。 | ||
| 交付地址 | ****省****市****区****师范大学大学城校区理*栋 | |||
| 质保期及售后要求 | 产品整机免费保修期不少于*年，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后，若仪器发生问题，对相关的技术问题能在**小时内及时进行响应，供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在*个工作日内仍不能解决问题，供方工程师应在其后**小时内赶到需方现场进行检修；若发生现场不能解决的问题，供方可将仪器（或故障部件）带回国内办事处进行处理，处理时间最长不超过**个工作日。质保期内，供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后，若仪器发生故障，供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理，供方只收取相应的材料费。 | 产品整机免费保修期*年，已提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后，若仪器发生问题，对相关的技术问题能在*小时内及时进行响应，供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在*个工作日内仍不能解决问题，供方工程师在其后**小时内赶到需方现场进行检修；若发生现场不能解决的问题，供方可将仪器（或故障部件）返厂进行处理，处理时间最长不超过**个工作日。质保期内，供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后，若仪器发生故障，供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内工厂进行修理，供方只收取相应的材料费。 | ||
| 其他要求： | 无 | 无 | ||
| 报价情况 | ||||
| 标的名称 | 品牌/型号 | 数量 | 响应情况 | 单价（元/%） |
| **** | 微纳真空/***-*** *** | *.** | 微纳真空/***-*** *** | ******.***元 |
| 总报价 | ******.*** 元 | |||
| 技术响应 | ||||
| 标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | ||
| **** | *.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ*** ×**** **，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ* ***，配至少*套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用***无磁不锈钢材质；*.真空系统：主泵分子泵抽速不小于**** **/ *，前级泵抽速不小于** **/ *，全量程数显复合真空计量程：*×***～*×**-***； *. ★真空极限：优于*.* ×**-* ****；*.抽速：抽至*.* ×**-* ****≤ ** ***；*.基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于*英寸，基片台配*体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：旋转速度*-**转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：***智能温控表，控温范围室温～*** °*；*. ★溅射靶及电源：不少于*只圆形平面靶，靶面尺寸不小于φ** **，可调整角度不小于±** °，可单靶轮流/双靶聚焦共溅射；直流电源不少于*台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源*台，频率**.** ***，要求自动匹配；*.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封；*.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪在线监控溅射速率和膜厚，*只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±*.* ā/*，厚度显示分辨率±*ā；*.气路系统：不少于*路工艺气体** *控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；**.操控系统：** *+触摸屏手自*体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动*种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；**.辅件配置：冷却循环水机*台，制冷量不小于**； | *.真空腔室：净空间尺寸Φ***×******（小于Φ***×******），前开门，前门配备观察窗，观察窗玻璃尺寸Φ****（大于Φ****），配*套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用***无磁不锈钢材质； *.真空系统：主泵分子泵抽速****/*（即******/*，大于******/*），前级泵抽速**/*（即**.***/*，大于****/*），全量程数显复合真空计量程：*×***～*×**-***； *.★真空极限：优于*.*×**-***（*.*×**-*****）； *.抽速：抽至*.*×**-***（*.*×**-*****）≤*****； *.基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于*英寸，基片台配*体式全尺寸挡板，挡板开合磁流体密封；基片台旋转：旋转速度*-**转/分连续可调，基片台旋转磁流体密封；基片台加热：***智能温控表，控温范围室温～***℃； *.★溅射靶及电源：*只圆形平面靶，靶面尺寸φ****，可调整角度±**°，可单靶轮流/双靶聚焦共溅射；直流电源*台，可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源*台，频率**.*****，自动匹配； *.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，磁流体密封； *.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪在线监控溅射速率和膜厚，*只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±*.*ā/*，厚度显示分辨率±*ā； *.气路系统：*路工艺气体*** 控制，量程范围*～******（**）\*～******（**）满足工艺制备金属、金属氧化物的需要； **.操控系统：***+触摸屏手自*体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动*种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效； **.辅件配置：冷却循环水机*台，制冷量**； | ||
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