项目名称：****

项目编号：*************

公告开始日期：****-**-**

公告截止日期：****-**-**

采购单位：****工业大学（深圳）

付款方式：货到付款

联系人：

联系电话：

签约时间要求：

到货时间要求：签约后**个工作日内

预算总价：******元

收货地址：****工业大学（深圳）

供应商资质要求：符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

采购清单*

采购商品：****

采购数量：*

计量单位：台

所属分类：

预算单价：******.*

技术参数及配置要求：*， 配置*轴扫描系统，保障光束在聚焦物镜入瞳处无抖动。小步长阶跃响应时间≤*.****，重复定位精度小于*μ***，线性度达到**.*%。 *， 配置高精度*维扫描平台，位移分辨率优于****，承载能力***，位移范围*，*，*方向***μ*。配置中心可供样品下沉的方向通孔，通孔尺寸不小于****×****。 *， **平面大行程扫描：*** **×*** **；重复性定位精度：≤±*** **。 *， 配置光束波前调控器件和******软件，可实现分屏调控，可对相同波长光束的不同偏振分量进行独立调控且偏振分量调控比可自由调节。 *， 具有常用相位掩膜加载和参数调控功能，可对聚焦光场进行调控，可**，**空心聚焦光场，应用于****、***探测。可生成多焦点阵列，焦点数不小于*×*。可用于形成矢量偏振光。 *， 具有初级像差矫正功能，可矫正**阶以内常用像差。可自由定义波前相位掩膜，并对掩膜进行常用灰度、旋转、位移等调节。 *， 可实现光栅扫描、*行扫描、圆周扫描和任意路径矢量扫描。 *， 具有闭环控制功能，可适配焦面定位算法，实现自动寻焦。 *， 系统具备*次开发功能和同步信号输出功能，可供用户高度自定义设备应用场景，包括但不限于搭建**共聚焦扫描检测系统、荧光超分辨成像系统和边缘光抑制光刻系统。

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