项目名称：****

项目编号：****-**-*******

公告开始日期：****-**-**

公告截止日期：****-**-**

采购单位：****大学光电研究院

付款方式：**%**，**%验收后**

联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后**工作日

到货时间要求：签约后***个自然日

预算总价：******元

收货地址：****省****市****区石龙山街**号，****大学

供应商资质要求：符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

采购清单*

采购商品：探针台

采购数量：*

计量单位：台

所属分类：

预算单价：******.*

技术参数及配置要求：*.▲探针台，主要构成包括探针台底座、滑台、载物台、台板、显微镜成像装置、探针座、探针、电缆、屏蔽暗箱以及真空装置等。 *.可测试样品最大晶圆尺寸： *英寸；并能兼容处理*英寸晶圆。 *.▲配置*套直流针座，针座*、*、*轴移动范围≥**.***×**.***×**.***，移动分辨率******，磁性吸附固定。（投标时需附上产品彩页或检测报告） *.★配置*同轴载物台，材质：不锈钢；载物台平整度：≤±***；具有** **、 *** **、 *** **共*个真空环带，*个真空开关；中心真空孔直径*.***。（投标时需附上产品彩页或检测报告） *.★载物台可被水平拉出移动：≥****，并具有锁止功能，方便放置待测晶圆/被测件。 *.★配置：≥*个子载物台；子载物台尺寸：≥****×****，不少于*个子载物台可支持真空吸附；用于测量校准、清针和单粒器件吸附，支持今后扩展研发射频项目的功能：用于射频校准与接触调整。（投标时需附上产品彩页或检测报告） *.★载物台*、*轴移动行程≥***********；*、*轴移动分辨率≤***；整个*****范围移动平整度≤****；且载物台的*、*轴具有锁止功能，保证测试安全性。（投标时需附上产品彩页或检测报告） *.★载物台*轴行程≥****，通过摇杆实现快速升降，行程*~***。（投标时需附上产品彩页或检测报告） *.★载物台*****轴旋转范围≥±*°。 **.★探针台板高度调节范围≥****， *****快速接触/分离功能，重复精度≤***，台板到卡盘的最小高度≤****, 利于精确扎针和提升测试效率。（投标时需附上产品彩页或检测报告） **.★配置 *套直流针臂,针臂性能要求：（投标时需附上产品彩页或检测报告） *)温度适用范围：-**℃～***℃； *)具有****连接电缆， 可与带****端口的探针连接； *)具有*个小型*轴同轴连接端口， 支持与带小型同轴端口电缆的连接； *)特性阻抗：**欧姆； *)最大耐受击穿电压： ≥****； *)最大电流： 可达**。 **.★直流针臂在屏蔽环境下， 漏电≤***。（投标时需附上产品彩页或检测报告） **.载物台漏电，屏蔽环境下，漏电≤****; 无屏蔽环境下，漏电≤*****。（投标时需附上产品彩页或检测报告） **.★配备*个直流针座，直流针座性能要求：（投标时需附上产品彩页或检测报告） *)可适用于直流探针臂的安装固定，适用于直流测量； *)特征分辨率≤***； *)丝杠周圈分辨率≤*****； *)高精度交叉滚子轴承设计，****个移动方向独立性能优越； *)过行程保护机制避免针座锁止产生应变，破坏精度； *)探针底座尺寸:≤*********； *)主要适用于 *-*、 *-* 和失效分析领域； *)固定方式：磁吸； *)针座底部预留缝隙，可以通过配置导轨舌片进行机械限位，满足防呆设计，防止误操作撞针。 **.★配备*个直流探针，直流探针性能要求：（投标时需附上产品彩页或检测报告） *)温度适用范围：-**℃～***℃； *)全屏蔽防护构造；支持低漏电测试要求，达到**量级； *)最大耐受击穿电压： ≥****； *)具备双连接端口：****接口； *)可支持更换的针尖半径尺寸：***； *)支持针尖材料： 钨针； *)特性阻抗： **欧姆； *)频率响应(***): ******。 **.★配备**根直流电缆， 直流电缆性能要求： *)*轴电缆, 长度＞*.**； *)电缆*端均是阳头；*端是标准*轴同轴头，*端是小型*轴同轴头； *)电缆*端：小型*轴同轴头可兼容连接到直流探针臂上; 另*端可连接到*轴转换面板； *)电缆具备低漏电特性，可适用于≤****测量环境要求。 **.★配置*个***摄像头，性能指标要求： *)传感器：****； *)分辨率＞ ***； *)像素尺寸＜*.******.****； *)最大信噪比：*.***@*****。 **.★要求厂家具有整体解决方案， 有力提供同*品牌的能满足各种测试附件， 包括主机、直流针座、直流探针臂、直流探针、直流电缆等， 并具备今后升级可配套微波部件和射频校准件、射频校准软件等测试能力； **.★要求厂家具有良好的产品制造质量和能力；（投标时需附上质量证书） **.支持今后功能升级，可添加微波部件， 实现射频*参数测量； **.探针台满足**、**等任*行业认证； **.配置*盒直流针尖：**支，针尖材质： 钨，针尖易于更换， 可与直流探针配套； **.配置体式显微镜，放大倍数为**-****，带有***照明系统，配备***标准接口，支持连接***摄像头； **.配置*轴转换面板*个； **.配置北向台板垫板*套，国内定制加工，用于扩展放置更多针座，方便测试； **.配置国内定制的屏蔽暗箱*套； **.配置国内配套的真空泵*个； **.随机配置装机工具盒*套，方便机器安装和日常维护。 （具体见附件中技术参数文件）

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