项目名称：****

项目编号：**********

公告开始日期：****-**-**

公告截止日期：****-**-**

采购单位：

付款方式：货到验收合格后付全款

联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后**天

到货时间要求：签约后**天

预算总价：******元

收货地址：****省****市****区文化路*巷**号

供应商资质要求：符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

采购清单*

采购商品：****

采购数量：*

计量单位：台

所属分类：其他特种设备

预算单价：******.*

技术参数及配置要求：主要由真空系统、真空测量系统、气路系统、***+触摸屏控制系统、溅射系统等组成。其中溅射电源可兼容直流脉冲溅射电源、射频电源。基片台绝缘设计，可接脉冲偏压电源。 *.真空腔室:Ф***×******，******不锈钢真空腔室，前开门结构，顶板焊水线； *.真空系统:复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； *.真空极限:*.*×**-***（设备空载，抽真空**小时）； *.升压率:设备升压率：≤*.***/*（**小时平均值）； 设备保压：停泵**小时后，设备真空度≤****； *.抽速:从大气抽至*.*×**-***≤*****（设备空载）； 从大气抽至*.*×**-***≤*****（设备空载，干燥氮气环境）； *.基片台:①基片台尺寸Φ*****，最大样品尺寸小于Φ*****；配有基片台挡板； ②旋转转速*～**转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源； ③加热:室温～***±*℃（基片台环境温度）； ***智能温控闭环控温，可控可调。 *.溅射靶及电源: ①配置*套*英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、靶基距手动可调），向上溅射； 可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板结构； ②工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜； ③电源： 直流脉冲溅射电源***，数字化控制及显示，*台； 射频电源******， 数字化控制及显示，*台； 脉冲偏压电源：-***， 数字化控制及显示，*台。 *.工作气路系统:质量流量控制器及量程范围：**，*******；**，******；**，******； *.膜厚不均匀性:≤±*%（单靶镀膜，基片台Φ*****范围内）； **.控制方式:***+触摸屏控制； **.报警及保护: 对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；

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