等离子灰化仪中标公示
项目编号：
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正文
****
****
中标信息
| 成交供应商： | ****巢原科贸有限公司 |
| 选择理由： | 总价最低，推荐成交 |
| 质疑投诉说明： | 如有质疑，请在*个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。 |
| 项目名称 | **** | 项目编号 | ************-**** | ||
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 报价截止时间 | ****/**/** **:** | ||
| 采购单位 | ****理工大学 | 付款条款 | 预付***%。 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||||
| 采购预算 | ￥**,***.** | 成交金额 | ￥**,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起**日内 | ||||
| 送货/施工/服务地址 | ****理工大学迎西校区博学馆*座*** | ||||
采购清单
*
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
| **** | 是 | 台 | * | （*）质保期：仪器在调试验收合格后，提供*年质保期。 （*）质量保证：兹保证提供设备是全新的、未使用过的商品，完全符合采购设备规定的质量、规格和性能的要求，保证提供的设备在正确安装、正常使用和保养条件下，在规定的使用寿命期内具有满意的性能。 （*）质保期外提供终身维修服务。在质保期外，报修电话**小时响应，对客户的服务要求在*小时内给予答复，在确认符合维修条件后的*个工作日内进行维修。 （*）对仪器提供终身的技术支持和优良的售后服务，包括免费定期软件升级及程序更新服务。 | ￥**,***.** | |
| 参考品牌及型号 | 德国****** **** | |||||
| 技术参数要求 | *，技术参数 **.控制系统： *.控制系统界面:便捷的*寸 ** 触摸屏*******控制系统 *.*种控制模式:自动/手动控制模式自由切换 *.自动控制模式:可存储多套工艺程序，实时显示工艺过程，可通过图表和数字及*维曲线多种方式实时显示腔体真空压力、抽真空时间、气体流量、工艺气体供气时间、等离子清洗时间、等离子功率强度等工艺参数。 *.手动控制模式:可通过直接敲击相应控制单元的图表进行设置，实验次数少或者处于工艺开发阶段可以使用手动模式，方便快捷。 **.安全功能：温度、真空压力、门锁互锁报警功能.任何*个工艺达不到其他工艺流程不会启动。 *.报警功能：工艺气体异常报警,真空压力异常,等离子作用异常、抽真空时间超时报警,设置参数异常或运行异常报警并显示详细报错信息,不可逆操作功能. **.多语言：中文、英语，德语等。控制模块有文字及图标*种方式说明。 **.工艺气路： *.*路***数字式流量计（** ** ** **等非腐蚀气体）. 气体名称可标识及选择，可调节流量大小，气体混合比例及通气时间. *.工艺气体可以通过控制腔体压力或调节气体流量*种方式控制。 *.配有慢速进气及抽气控制模块，防止样品飞扬。 **.压力控制： **.配有******德国原装******压力传感器，量程*.**-*.*****，实时数字显示工艺舱的压力值.腔体后端紧密连接。 *.工艺压力:有压力上限保护功能,可以防止供气或者真空系统故障造成样品损伤及设备异常运转. *.压力异常（泄漏,缺气,供气系统破损）报警并停止运行,起到保护作用且方便发现供气系统异常找出问题. *.可调节设定腔体抽真空所要达到压力及等离子工艺时工艺气体压力. *.压力互锁功能。抽真空压力*.****以下，其他工艺功能才能启动。 **.发生器： **.******原装射频发生器，频率**.*****,功率*~****连续可调.*分之调节设置。 **.具有电流过载保护功能。 **.反射波自动调节匹配。 **.******式多级环式电极：腔体外包覆*个以上环形电极且均匀分布，保证均匀性。 **.反应腔： **.反应腔材质为***硬质高纯硼硅玻璃。 **.腔体尺寸：圆形腔体，直径*****.深*****.容积大约**.**. **.外置环绕电极，电极不会与样品接触防止交叉污染及接触损坏. **.铰链门，带观察窗,实时观测腔体动态.装有门报警开关,门闭合不到位,漏气会报警.门配有观察窗,带有屏蔽网减少电磁干扰。 **真空泵： *.抽气速度***/*. **.真空泵与设备联动控制，不需要单独配电。真空更泵有等离子设备控制启停。 | |||||
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