温馨提示
您还未登录。成功注册登录后，将可查看更多信息
登录 立即注册 还未注册？
返回首页
分站：
河南 山东 北京 上海 江苏
更多

中山大学--真空反应腔

招标-竞价 2019-11-27 纠错
项目编号： 20190222011
业主 单位

联系电话：查看
代理 单位

联系电话：查看
  • 公告详情
  • 项目进度

正文
待****详细（***********）
申购单主题： **** 申购单位： 化学工程与技术学院 经费科目： 重点工作项目-队*建设 是否含税： 是
使用币种： 人民币 申购备注：
设备名称 品牌厂商 型号 是否标配 规格配置 数量 售后服务 附件
**** 沈阳鹏程 ****** 全自动*体式 是 系统的主要组成及技术指标 溅射室极限真空度：≤*.****-***（经烘烤除气后）； 系统真空检漏漏率：≤*.****-***.*／*； 系统从大气开始抽气：溅射室**分钟可达到*.****-* **； 系统停泵关机**小时后真空度：≤***； 基片最大直径***样品*片（***********对角线*****），*—**转／分连续可调 * 、溅射真空室 真空室为圆筒形前开门结构，尺寸Ф***********，全不锈钢结构。可内烘烤到***～***℃。 * 、磁控溅射系统 *.* 靶材尺寸：Ф****； *.* 永磁靶（其中*个可溅射磁性材料），射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷； *.* 进口***旋转气动控制挡板组件：*套； *.* 磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：**~*****。 *.* 尺寸为*英寸的样品可均镀膜，不均匀度为≤±*%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约*****） *、抽气机组及阀门、管道 *.*、复合分子泵及变频控制电源：*台（*****／*******／* 北京****）； *.*、机械泵：***-*,**／* *台（浙江飞越）； *、安装机台架组件 采用*体化承载式机柜设计，可固定，可移动。（尺寸:*******************重量:*****） *、系统采用***＋嵌入*体式触摸屏工控机实现全自闭后环动控制方式 *、在甲方现场验收后，*年内免费维修正常使用出现的故障； *、每年免费提供*次设备巡检，保证客户设备处于完好状态。 * 无附件

展开全文

推荐公告

更多

热点推荐

热门招标

货物中标

热门关注

粤ICP备16081787号-1 Copyright © 2015-2019

比地招标网   m.bidizhaobiao.com

点击右上角的···，即可分享该项目给好友
知道了
知道了

体验会员

请立即收下吧！

恭喜您获得
免费体验会员，请前往领取！
立即领取