多源有机气相沉积系统(ZBZX-JJ20190478)采购公告
2019-06-18
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正文
项目名称 | **** | 项目编号 | ****-********** |
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公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
采购单位 | ****大学 | 付款方式 | 甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方*次性支付本合同的总款项,乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | 成交后**天 | |
预 算 | ¥ ******.* | ||
收货地址 | ****大学望江校区*环路南*段**号 | ||
供应商资质要求 | 符合《****法》第***条规定的供应商基本条件 |
采购清单
*
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
**** | * | 套 | 无 |
品牌 品牌* | 立宁真空 |
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型号 | **-****** |
品牌* | |
型号 | |
品牌* | |
型号 | |
技术参数及配置要求 | “****”技术规格书 (标★的为必须满足的条款) * 设备名称:**** * 主要功能:提供惰性保护气体和高真空环境下,制备和封装光电器件。应用于薄膜太阳能电池、发光器件、探测器等光电器件的制备,金属电极的制备。 * 主要技术参数及要求 *.* 镀膜机部分:多源有机金属气相沉积系统 ★*.*.* 工作原理:蒸发镀膜是加热有机或金属材料使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 ★*.*.* 真空系统:采用高性能泵组结构,半小时内达到小于等于*×**-***;腔体的真空极限优于*×**-***;具有旁路抽气系统,可实现不停分子泵的情况下对真空腔室进行充气,并打开舱门,更换镀料和基片,复合分子泵需是久泰真空(****-*****)和机械泵为*****(*****),高真空气动挡板阀需来自川北科技(***-****),真空计需来自济宁新光(******-Ⅱ型-智能复合数字真空计)。 *.*.* 腔体部分:前后*个门,前门配有玻璃观察窗与防污挡板;*门均可单独打开,后门采用滑轨式设计,与手套箱相连。 ★*.*.* 基片架:转动基片架有*个基片位。可自动识别基片位置。基片尺寸最大为**-****,每个基片位有*组模板库。可放*个不同模板图形,可任意在线切换模板。可同时实现掩模与基片独立挡板功能。在真空条件下,转换掩膜板并实现*间隙掩模接触。(需提供实物图片) ★*.*.* 基片加热系统:基片可精确加热,基片实际加热温度不小于*** ℃。(需提供实物图片) ★*.*.* 蒸发源及蒸发电源:配*个有机蒸发源和*个金属蒸发源,其中有机蒸发源温度最高可到*** ℃,控温精度为±* ℃;恒流控制金属蒸发源。可蒸发金、银和铝等金属。每组蒸发源需配有独立防污档板或防污罩。可实现有机*掺杂,金属双掺杂制备工艺,并阐明这*种掺杂如何实现。 ★*.*.* 膜厚探测:膜厚探测系统可现实不同的材料;膜厚控制精度*.**埃;可实现膜厚清*操作,清*之后按新的膜厚重新计算;可显示晶振质量或寿命等参数;膜厚测量仪需是:******* (***-**** *通道); ★*.*.* 操作系统及控制方式:将电气部件集成于设备机架或电控柜中采用数显触摸屏或电脑界面操作蒸镀过程,并采用人机友好界面中文操控系统;抽真空和停真空可以*键操作。蒸发源的独立挡板采用触摸屏操作。 *.*.* 真空室防污板:真空室上方、左侧、右侧、前后门和玻璃观察窗都配有防污板(不锈钢材质),需提供*套,以便清洗更换。(需提供实物图片) *.*.** 保护措施:对冷却水循环系统检测保护,温度检测保护,真空度检测保护,对泵与电源进行缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施,冷却水循环系统由冷却水循环机和冷却水路水流控制系统构成。 *.* 手套箱部分 *.*.* 组成部分:该系统由*节箱体组成,左边为薄的手套箱,厚度为*****,背部对接热蒸发手套箱,右边连接*台单面单工位手套箱。 ★*.*.* 箱体:箱体由*节箱体组成,左侧背部开口,可与真空镀膜机连接尺寸为******(长)******(宽)******(高),右边连接*台单面单工位手套箱,尺寸为******(长)******(宽)******(高),箱体材质均为******不锈钢,厚度***。可拆卸的安全玻璃视窗,倾斜设计的操作面,钢化玻璃厚度***,视窗与箱体之间的密封使用威格的专利技术,达到无泄漏。 ★*.*.* 过渡仓:右侧*个大过渡仓,尺寸:Φ*********。*侧各有*个小过渡仓,尺寸:Φ*********。 ★*.*.* 气体纯化系统(威格气体纯化系统): *. *个气体纯化柱:选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛,用于除水和除氧;氧气和水的吸附量分别为**升和*公斤; *. 气体纯化柱吸附饱和后,用含氢的氮气或氩气再生,恢复其吸附能力用氢气/氮气混合气作为再生气。**:*%; **: **%。 *. *个循环风机:流量****/*。 *. *个有机气体吸附柱 *.*.* 控制系统: *.*.*.*. 自动控制箱体压力,由西门子的 ***和*”彩色触摸屏组成,用户友好的中英文操作界面; *.*.*.*. 单键实现过渡舱多次抽充气操作,节省时间,真空泵为英国*******,型号****; *.*.*.*. 可以手动或自动监测泄漏率,显示操作错误和提示,箱体气氛自动报警,所有操作均有预设条件,动作互锁,避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛。 ★*.*.* 手套箱技术指标 *.*.*.*. 泄露率﹤*.******%/* *.*.*.*. ***﹤**** ,**﹤****(*.水分析仪,来自英国*******,测量范围:**℃到-***℃(露点),精度:*℃;*.氧分析仪来自美国**,测量范围可设:*-**,***,****,***** ***;精度:量程的*% 或*.****) * 基本配置要求 *.* 镀膜机:*套 *.* 手套箱:*套 * 原产地:国内 * 交货时间:****省成都市****大学望江校区,合同生效后**天内供货并安装调试完毕 * 付款方式:货到验收通过后付全款 * 仪器工作环境 *.* 电源:设备供电总功率≥****,****,*相*线制(*火***地),额定电流≥***;插座距离设备尺寸≤*.**; *.* 环境温度:*~**℃。 |
售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;*年质保,终生维护; |
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****(****-**********)采购公告
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