激光直写
2024-09-20
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正文
********年**月****意向-**** 详细情况
**** | |
项目所在采购意向: | ********年**月****意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | **** |
预算金额: | ***.*******元(人民币) |
采购品目: |
********* 激光仪器
|
采购需求概况 : |
****是芯片制造流程必不可少的设备之*。由于科学研究自由度高,常规紫外光刻机需要定制光刻板,不能满足科研实验中快速迭代实验方案的需求。****可以兼具光刻和电子束曝光的优点,具有电子束曝光无掩膜直写系统的灵活性和高分辨率,还具有紫外光刻机高速图形化和低成本的特点,可以在*定精度下快速直写曝光。根据目前项目科研实际需求,本项目根据科研需求计划采购*台****。
|
预计采购时间: | ****-** |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位****工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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