磁控溅射镀膜系统(XJD2024091900021)采购公告
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正文
****(****************)采购公告
| 项目名称 | **** | 项目编号 | **************** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | **** | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后*天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后*天内送达 |
| 预算总价 | ***** | 币种 | 人民币 |
| 收货地址 | ****省****市****区**** | ||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
采购清单
*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| **** | *.** | 无 |
| 品牌 | 北京安泰可科技有限公司 |
|---|---|
| 型号 | ***-*** |
| 预算单价 | ***** |
| 规格参数 | **** 主体，整机结构模块化设计，方便维护。包含： *）腔 室：*****×*********，***不锈钢焊接酸洗处理，真空漏率*.****-* **·*/*； *）样品台：可放置最大*********晶圆（以及*********以下碎片）样品台设有保护片托； 易于拆卸和清洗； 样品升降******； 旋转为*-**转/分。 *）控制系统：高精度 ***+工控机沉积自动控制系统， 搭配触摸屏尺寸为**英寸； 自主研发的沉积控制软件系统。 *）真空系统：分子泵***/*； 北仪优成机械泵 */*； 复合真空计，测量范围大气---****-***； 高真空气动挡板阀：****接口； *）溅射系统：*寸溅射阴极：水冷带有挡板，*套； 射频电源：**电源**** *台； **直流电源**** *台； 流量计：*套，(**， **) |
| 售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期**个月。 |
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