发布时间：****-**-** **:**:**
截止时间：****-**-** **:**:**
申购单号：***************** 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同
申购主题：**** 送货时间：合同签订后**天内送达
采购单位：****工程技术大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****市/市辖区/****区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：******.*
付款方式：电汇，**%预付款，**%验收后支付
备注说明：
申购明细：
序号：*
采购内容：****
数量：*
预算单价：台
品牌：不指定
型号：不指定
规格参数：*、曝光面积：方片为*英寸**英寸及以下；圆片为φ*英寸及以下。 *、曝光光源：采用*******型超高压水银直流汞灯；光源波长为*****；照明范围≤φ*****；不均匀性为φ*****内±*%；可使用的波长为*线、*线、*线的组合；根据用户要求可增加*线滤光片；光照度为*～**毫瓦/厘米*且任意可调(出厂时照明度调在****/***)；曝光分辨率为*μ*。 *、曝光方式：接触式曝光。*种类型分别为硬接触曝光：用管道真空来获得高真空接触且真空≤-*.*****；软接触曝光：接触压力可将真空降到-*.*****～-*.*****之间；微力接触曝光：小于软接触且真空≥-*.*****。 *、曝光分辨率：硬接触曝光的最小分辨度可达*μ*以上。 *、对准系统规格：观察系统为*个单筒显微镜上装*个***摄像头；通过视屏线连接到显视屏上；单筒显微镜为*.**～*.**连续变倍显微镜或*.**～***连续变倍；***摄像机靶面对角线尺寸为*/*，（***）；采用**英寸液晶监视器且其数字放大倍率为**倍；观察系统放大倍数为**～***倍或**～***倍。 *、对准台规格：掩膜样品整体运行范围为±****；*与*调整：±***；θ调整：转角≤*°； 对准间隙（分离间隙）*～***任意可调；对准精度为*μ*；套刻精度为*μ*。 *、尺寸和重量：尺寸为机体*** **（长）×*** **（宽）×*****（高）；重量≤*****。
质保及售后服务：按行业标准提供服务