离子束刻蚀机(XJD2024090900011)采购公告
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正文
****(****************)采购公告
| 项目名称 | **** | 项目编号 | **************** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | **** | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后*天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后*天内送达 |
| 预算总价 | ***** | 币种 | 人民币 |
| 收货地址 | ****省****市****区**** | ||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
采购清单
*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| **** | *.** | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 预算单价 | ***** |
| 规格参数 | 真空室： 采用***系列不锈钢制造，电解抛光，可适用惰性气体和反应气体； ★真空室为桶形卧式结构，*端开口左右（或前后）横置结构，*端开门；真空室内部尺寸不小于Ф*****×******； 工件载台： ★可放置最大Φ*****（*英寸）基片*片，尺寸向下兼容； 工件台可自转，自转速率*-*****在线可调； ★刻蚀角度：以载台直立与离子源正对时标记为*°，载台可向上或向下翻转，实现刻蚀角在±**°范围内的连续在线调节，调节步进*°； 基片载台上设置有*套可自动开合的挡板，防止靶材预溅射对基片造成污染； 真空系统 极限真空度：≤*.**×**-* **；本底真空度：*.*×**-* **； ★抽气速率：从大气（充干燥氮气解除真空）开始抽气，**分钟内本底真空度可达到本底真空； ★工作真空度：*.*~*.*×**-* **，全自动压力调节； 真空泵：采用*级真空泵组，前级为机械泵，抽速不小于***/*；主泵为复合分子泵，抽速不低于*****/*； ★真空测量：进口全量程真空计*套测量真空，量程范围从大气压至**-*** 离子源： 离子光学 栅网采用金属钼材料制成，*级准直型离子光学系统 ； 发射口径 最大发射口径Ф*****； ★离子束流 *****电压下最大离子电流＞*****； 离子能量 ***~******； ★单灯丝连续工作寿命：≥**小时；抗氧化材料灯丝中和。 工艺气路 工艺气体配置：*路氩气 ★流量控制 工艺气体采用进口质量流量控制器控制进气，最大流量******，控制精度±*%*.*.； 气路管线 **级****不锈钢气路管线，超清洁全金属密封，管线内壁表面光洁度小于**** |
| 售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期至少**个月。 |
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