申购单主题：****

申购单位：化学工程与技术学院

设备*

设备名称：****

品牌：众濒

型号：*********

数量：*.*

报价类型：国内含税价/人民币

售后服务：*、原厂发货至中山大学，到货时由用户向原厂确认货物为原装正品，并由原厂工程师上门安装培训，保修*年； *、不符合上述技术参数及售后服务要求的响应及供货按无效应答处理，不予验收结算！

规格：*、腔体材质：石英腔体 *、电源功率：*-****可调 *、电源频率：**.***** *、频率偏移量：小于*.**** *、特性阻抗：**欧姆，自动匹配 *、真空度：***-**** 真空泵抽速：**/* *、气体流量**-*****/***（可调） *、气体路数：高精密双路浮子流量计 *、过程控制：全自动控制与手动（*** 人机界面） **、清洗时间：*-******可调 **、功率大小：**%-***% 可调 **、腔体尺寸：Φ***×***** **、真空室温度：＜**℃

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