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截止时间：****-**-** **:**:**
申购单号：***************** 签约时间：
申购主题：**** 送货时间：签订合同后 ** 天内到货。
采购单位：****大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：******.*
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：签订合同后 ** 天内到货。
申购明细：
序号：*
采购内容：****
数量：*
预算单价：
品牌：中国科学院光电技术研究所
型号：***-****/***
规格参数：*．技术参数 ？ 曝光面积：*英寸 ？ 曝光波长：***** ？ 分辨力：*.***-*** ？ 对准精度：±*** ？ 掩模样片整体工件台运动范围：*：****;*:**** ？ 掩模尺寸： *英寸,向下兼容 ？ 样片尺寸：*英寸，向下兼容，支持碎片 ？ 厚度可适应*.***--***(最大可扩展为****) ？ 曝光方式：定时（倒计时方式） ？ 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光*种功能 ？ 双目双视场对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过***+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大***倍，物镜*对：*倍、**倍、**倍，目镜*对：**倍、**倍、**倍 ？ 调平接触压力通过传感器保证重复 ？ 数字设定对准间隙和曝光间隙 ？ 掩模相对于样片运动行程： *: ±***; *: ±***; *: ±** ？ 最大焦厚：*****（***胶，用户提供检测条件） ？ 光源平行性：*.* * ？ 曝光能量密度：&**;****/*** ？ 单层曝光*键完成 ？ 采用球气浮自动找平 ？ 照明不均匀性： ￡*.*%（ ******范围）； ？ 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 ？ 曝光光源：****汞灯； *．外形尺寸：约******（长）？*****(宽) ？******（高） *．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 *.* 曝光系统 ？ 冷光椭球镜 ？ ****进口直流高压汞灯(进口) ？ ***汞灯调节台 ？ 冷却风扇 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜*、准直镜镜*、蝇眼透镜组（**个透镜）、*线滤光片、场镜*、冷光反射镜*、反射镜* *.* 对准工件台系统 ？ 掩模样片整体运动台 ？ 掩模样片相对运动台 ？ 转动台 ？ 样片调平机构,自动完成 ？ 基片抽拉式上下机构 ？ 样片调焦机构，电机自动调 ？ 承片台*个：***** 、*英寸、*英寸、*英寸 掩模夹*个：*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸 *.* 电控系统 ？ 光源、 电源 ？ 双目双视场对准显微镜主体 ？ 目镜*对（**倍、**倍、**倍，共*个） ？ 物镜*对（*倍、**倍、**倍，共*个） ***对准系统，**寸液晶显示器 *.* 气动控制系统及辅助配套设备 *.** 电控系统 ？ 单片机控制系统； ？ 紫外***电源模块； ？ 控制柜桌 *.** 气动系统 ？ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 ？ 电磁阀驱动 ？ 气动仪表 *.** 真空泵 ** 空压机**
质保及售后服务：*、验收合格之日起，免费质保*年，终身维护。 *、质保期内*小时响应，**小时到达现场维修，质保期外**小时响应，终身维护。 *、售后服务*个工作日发现质量问题包换新或者退货。 *、原厂技术人员送货上门安装培训，当面验收，拒绝快递。