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基本信息
项目名称：****
采购单位：集成电路学院
预算金额：****.******(*)
采购品目：-
预计采购时间：****-**
采购需求概况：标的名称:****,标的内容:采购标的需实现的主要功能或者目标:紫外接近接触式光刻机、全自动涂胶显影机、黄光间通风橱、双槽湿法刻蚀与清洗系统、*英寸等离子体增强原子层沉积系统、磁控溅射镀膜系统、***刻蚀设备、*氟化氙气相刻蚀系统、*槽自动湿法刻蚀与清洗系统、单槽湿法刻蚀与清洗系统、氧化扩散炉、*探针测试系统、金相显微镜探针台、椭偏仪、金相显微镜、热红外显微镜、超级净化手套箱等
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