多功能光电器件制备系统（JLU-KC24064）采购公告
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正文
****（***-*******）采购公告
| 项目名称 | **** | 项目编号 | ***-******* |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公示截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | ****大学 | 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后***%付款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | 国内合同签订后**个工作日内 |
| 预算 | ￥***,*** | ||
| 发票要求 | 增值税发票（*般纳税人须开具增值税专用发票） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件
|
||
| 收货地址 | ****大学物理学院 | ||
采购清单
*
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| **** | * | 套 | 电子光学及离子光学仪器 |
| 品牌 | 米开罗那 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ********* | ||
| 技术参数 | 主要配置包括：多源有机金属气相沉积系统、超级净化手套箱系统、旋涂仪和源表 *. 多源有机金属气相沉积系统 *.*基本组分参数 *.*.*蒸镀腔为方形腔体，尺寸≥*** ** × *** ** × *** **。 *.*.*蒸镀腔可与手套箱连接，可在手套箱中直接取放基片和添加镀料等操作。 *.*.*抽气系统采用分子泵(抽速: ≥**** */*) +机械泵(抽速: ≥** */*) 组合。 *.*.*腔体的极限真空≥* × **-* **, 在保护下重新抽真空可在**分钟内达到的真空度为:* × **-* **。 *.*.*基片架可同时放置*个基片(***** **)，每个基片可独立更换*种掩膜图形，且掩膜板和基片的间隙为*，或同时蒸镀**个***** **的基片。 *.*.*蒸镀腔中至少有*套有机蒸发源和*套有机蒸发电源，最高温度≥***℃。 *.*.*蒸镀腔中至少有*个金属蒸发源和*套金属蒸发电源，最大功率≥*.* ** (电流*** *，电压* *)。 *.*.* 包含至少*台膜厚仪和*套水冷检测探头。 *.*真空室 真空室为方形腔体，全部采用******不锈钢制成，腔体的极限真空至少为* × **-* **，抽真空时可在**分钟内达到的真空度为：* × **-* **。 *.*基片装置 *.*.* 磁力传动的旋转基片架至少可放*个基片，基片最大尺寸为***** **，基片架转速为*-**转/分(转速可调)，掩膜板与基片间的间隙为*。 *.*.* 可蒸金属:以铝为标准厚度为** 。 *.*.* 蒸镀速率: *.*-** /*稳定可控，蒸镀速率波动≤士*.* /*。 *.*.* 单片内膜厚匀性:士*%, 测试方法，多点测量: *个值相加/* (*≥*) , *.*.* 单片尺寸:不大于*** ** × *** **。 *.* 蒸发装置 *.*.* 设备至少有*个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源至少*套，电极式金属蒸发源至少*套。 *.*.* 蒸发源都配有独立的挡板，可单独打开或关闭。每个源有独立防污罩，防止源与源之间的污染。 *.*.* 有机源加热温度均匀，寿命长达****小时以上，温度至少可达到***°*。 *.*.* 金属源采用水冷电极，蒸发舟尺寸为** **。 *.*.* 有机蒸发电源只扫*套，采用控温表控温，控温精度≤土*°*. *.*.* 金属蒸发电源至少*套，功率≥*.* **。 *.* 控制系统 设备采用***触摸屏控制，设备的所有操作在触摸屏上完成。触摸屏尺寸为**英寸，控制内容包括:机械泵、分子泵、阀的启、停；在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统;基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。 *. 超级净化手套箱系统 *.* 主要组成和基本配置： 集成有封闭的箱体（带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗）、过渡仓、循环净化单元(单柱)、***控制及触摸屏操作系统，真空系统、显示系统、支架等 *.*.* *个***不锈钢的箱体，由*节******的箱体组成，名义尺寸总长******，宽*****，高*****，厚度*** *.*.* *个***不锈钢的大过渡仓，直径*****，长度*****，右侧 *.*.* *个***不锈钢的小过渡仓，直径*****，长度*****，右侧 *.*.* *个带*个手套口前窗，材质为钢化玻璃 *.*.* *副丁基橡胶手套 *.*.* *套照明系统 *.*.* *个箱内电源接口 *.*.* *台高性能的循环风机 *.*.* *个净化柱 *.*.** *台真空泵 *.*.** *套***控制系统 *.*.** *个触摸屏 *.*.** *套支架脚轮 *.*.** *个脚踏开关 *.*.** *台水分析仪 *.*.** *台氧分析仪 *.*.** *套箱内有机溶剂吸附器 *.* 主要参数： 水氧指标：小于**** 泄漏率：小于*.******%/* *.* 手套箱箱体 *.*.* 箱体： 材料：***不锈钢，厚度*** 内表面：不锈钢拉丝处理 外表面：喷塑，白色 *.*.* 前窗：倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度***。玻璃视窗采用实芯*型密封圈 （真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄露。 *.*.* 手套口：材料为铝合金，原色氧化，*型圈密封 *.*.* 手套：丁基橡胶，厚度*.***，直径*”，长度**” *.*.* 过滤器：规格*.*微米，*个气体入口和*个气体出口 *.*.* 搁物架：单面手套箱为*层，可调节式；双面手套箱为*层，固定式；材料为***不锈钢 *.*.* 箱体照明：***灯，安装在每块玻璃窗前上方，具有漫反射功能 *.*.* 接口：备用接口大于*个 *.* 大过渡仓 *.*.* 过渡仓 材料：***不锈钢 表面：内表面为拉丝处理，外表面喷塑（白色） *.*.* 附件 滑动托盘：***不锈钢，易拆卸 舱门：双门，厚度****，竖直操作，带提升机构 压力表：模拟显示 *.*.* 控制 电磁阀触摸屏自动操作 *.* 小过渡仓 *.*.* 过渡仓 进入手套箱部分长度***** 材料：***不锈钢 表面：内表面为拉丝处理，外表面喷塑（白色） *.*.* 附件 滑动托盘：***不锈钢，易拆卸 舱门：双门，翻盖式 压力表：模拟显示 *.*.*控制 手动阀手动操作 *.* 气体净化循环系统 *.*.* 净化柱 功能：气体密闭，除水、除氧 容器材料：***不锈钢 净化材料：铜触媒：***、分子筛：*** 净化能力：除氧：***、除水：*** *.*.* 循环系统 工作气体：氮气、氩气 循环能力：集成风机流量****/*，加装变频 *.*.* 再生 操作：***自动控制再生过程 再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气*-**%) *.*.* 阀门 主阀：******，电气动高真空挡板阀 控制阀：电磁集成阀 *.*.* 控制系统： 功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用西门子***触摸屏 脚踏板：控制箱体压力，方便操作升压和降压 *.*.* 显示系统： 采用西门子***触摸屏，显示运行状态，箱体压力、系统记录等 *.* 真空系统控制情况 英国*******真空泵，旋片泵，带油雾过滤器，气振控制，可手动或通过***启动，流量****/*，可对过渡仓抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤****-*** *.* 水分析仪 采用*******品牌露点变送器，触摸屏显示，薄膜氧化铝湿度传感器技术，测量范围为*-*******，精度*.**** *.* 氧分析仪 采用电化学燃料电池，测量量程：*-*****、******、*******、*-*%、*-**%，全量程精度：±*%*.* *.** 箱内有机溶剂吸附器 放置箱内，尺寸：直径*****,高度*****，填充***活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛 *. 旋涂仪 **.* 转速可控范围：***-********，转速分辨率：****;实时转速精度±**** *.* 最大单步步长*****，旋转时间分辨率*.** *.* 加速度可控范围：***-********/* *.* 可处理碎片(小于***)至*英寸(*****)圆晶底物 *.* *.*寸全彩触摸屏，提供触屏笔操作，中英文界面可选 *.* 可进行多步程序运行，最多可存贮**组**步程序 *.* ****高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能 *.* ***耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性**透明盖子 *.* ****直流无刷电机，宽电压适用：*****-****输入 *.** 带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全 *.** 标配*种规格铝合金真空载物盘（直径****、****、*英寸） **.** 防堵胶功能设计，真空通道进胶安全保护功能，带*只自动点胶端口可升级自动点胶功能，可以选择嵌入式 *. 源表 *.* 最大测量显示分辨率：*位半； *.* 最高年测量精度可达：*.***%； *.* 工作方式：*象限工作，无需更换端子可实现正负输出 *.* ***编程分辨率：**μ*； *.* ***量程范围：±**** *.* ***测量分辨率：***； *.* ***量程范围：±**； *.* *位半分辨率下通过****线缆可达****次读数/秒的速度 *.* 内置比较器，支持快速****/****测试 *.** 可选接触检查功能 *.** 通讯接口：****、*****、******* ****接口 *.** 在****通讯下，支持免费的**扫描软件进行源设置和数据和图形的保存 *.** 保修：*年 |
||
| 售后服务 | 服务网点:外地;电话支持:****小时;服务年限:****;服务时限:报修后**小时;质保期:*年; | ||
****大学
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