****（*****）可以实现金刚石的高质量制备与外延，基本原理是由微波放电形成的等离子体沉积合成金刚石，对于发展宽禁带半导体器件具有重要意义。本项目旨在采购*台*****外延设备，以实现对于直径*****以内的金刚石材料的高质量外延生长。采购标应当满足以下要求：*）采购标所采购设备应适合于多晶，单晶和纳米晶金刚石薄膜制备，以及纳米管，纳米线制备，镀膜，研究和生产。*）采购标应在合同签订后***日内所有货物交付到指定地点并安装调试完毕。*）采购标应保证在保修期内或保修期外如设备出现故障，供方在接到通知后，应于*小时内给予解决方案，维修人员在**小时内科到达现场并开始维修。*）采购标应至少保证验收合格后*年质保。

**工程