是否接受进口

拒绝进口

品牌

****

型号

*****-****-***

生产厂商

****

产地信息

中国

技术规格及参数

*.****-***射频等离子源：适用气体：氮气，氢气，氧气；
安装法兰：*****或****；
进气法兰：****；
工作气体流量范围：*.*-** ****；
主腔工作气压：&**;**-* ****；
工作距离：***-*** **；
源体深入腔体的长度：*****；
特殊设计的多孔引出结构，可根据生长需求进行定制；
射频驱动功率：*** *；
匹配器：自动匹配；
冷却水循环通过线圈，水温&**;**℃，水流 ≥ * */***。

*.射频电源：射频驱动功率：*** *，频率：**.*****。

*.匹配器：自动和手动切换，功率：*****。

*.光谱仪：适用波段：***—*****，狭缝宽度***μ*； 光学分辨率*.***，积分时间***-***；包含光纤，光纤可固定法兰。

*.气路面板：质量流量计，精密气体流量控制：*.*****-******；全金属***超高纯气路标准设计；气体纯化器；高纯气路**管。

质保期

验收之日起提供*年质保。

售后要求

满足。 *.提供制造商免费质保*年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，*旦发生质量问题，投标人保证在接到通知**小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及*件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。 *. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，*小时内响应，**小时内派员上门现场维护，并在**小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 *. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： *、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； *、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； *、货物具备产品合格证。