申购单主题：****

申购单位：柔性电子学院

设备*

设备名称：****

品牌：维科赛斯

型号：***-***

数量：*.*

报价类型：国内含税价/人民币

售后服务：①产品质保期为*年； ②在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的*部件损坏； ③在质保期外设备*部件的损坏，提供的配件只收成本费； ④质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电 话或邮件通知）后，技术人员于 ** 小时内，赶到技术服务现场并开始维修； ⑤安排不少于*人的线下培训。

规格：真空腔室：****×****×******（********** 优质不锈钢），立式方形结构，前开门结构，方便取、放基片、更换靶材以及真空腔室日常维护；采用***优质不锈钢，所有焊缝连接均采用氩弧自动焊接技术，焊接完成后，镀膜腔室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光处理，以减少“出气”量，有利于真空度的提高及耐腐蚀； 样品台：尺寸***×*****，可旋转：*-***/***可调，配有气动基片台挡板,可从室温加热至***℃；可选配偏压清洗功能； 真空系统：采用机械泵真空系统（***，**/*），真空极限可达*.*×**^-***（加热烘烤条件下）；真空测量采用单电阻真空计； 溅射靶：Φ*英寸*只（含靶挡板），靶角度及靶基距可调，各靶均有水冷（**），保证各靶长时间稳定工作，兼容直流/射频电源溅射； 溅射电源：*台*****全自动匹配射频溅射电源； 质量流量计：*******、****** 质量流量控制器各*套； 控制方式：采用***+触摸屏全自动控制系统； 前级阀：***-*** 气动挡板阀；进气阀：Φ***，电磁截止阀；放气阀： Φ****，电磁截止阀；靶材：铜靶材Φ*英寸 报警及保护：对泵、磁控靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；

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