多靶磁控溅射镀膜设备(申购单编号:202410102248)
2024-05-16
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申购单主题: | **** | 申购单位: | **** | 申购人: | 罗佳利 |
报价类型: | 国内含税价 | 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | ****-**-** **:**:** |
申购备注: |
商品名称 | 品牌厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | 规格 |
---|---|---|---|---|---|
**** | 维科赛斯 | ***-*** | * | ①产品质保期为*年; ②在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的*部件损坏; ③在质保期外设备*部件的损坏,提供的配件只收成本费; ④质保期内或质保期外如设备出现故障,供方接到用户的正式通知(含电 话或邮件通知)后,技术人员于 ** 小时内,赶到技术服务现场并开始维修; ⑤安排不少于*人的线下培训。 | 真空腔室:****×****×******(********** 优质不锈钢),立式方形结构,前开门结构,方便取、放基片、更换靶材以及真空腔室日常维护;采用***优质不锈钢,所有焊缝连接均采用氩弧自动焊接技术,焊接完成后,镀膜腔室(包括抽气管道、连接法兰等)均进行内表面抛光处理,以减少“出气”量,有利于真空度的提高及耐腐蚀; 样品台:尺寸***×*****,可旋转:*-***/***可调,配有气动基片台挡板,可从室温加热至***℃;可选配偏压清洗功能; 真空系统:采用机械泵真空系统(***,**/*),真空极限可达*.*×**^-***(加热烘烤条件下);真空测量采用单电阻真空计; 溅射靶:Φ*英寸*只(含靶挡板),靶角度及靶基距可调,各靶均有水冷(**),保证各靶长时间稳定工作,兼容直流/射频电源溅射; 溅射电源:*台*****全自动匹配射频溅射电源; 质量流量计:*******、****** 质量流量控制器各*套; 控制方式:采用***+触摸屏全自动控制系统; 前级阀:***-*** 气动挡板阀;进气阀:Φ***,电磁截止阀;放气阀: Φ****,电磁截止阀;靶材:铜靶材Φ*英寸 报警及保护:对泵、磁控靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统; |
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