名称：****该系统是高能脉冲磁控溅射系统的关键真空部件，其主要包括真空腔部分、真空获得系统、以及多种异性实验腔体。由于该系统属于定制型仪器，也没有现成的商业产品可供直接购置。其功能主要是使腔体实现高真空状态并及进行测量。 配置实验腔主要用于薄膜生长条件探索，包括单****和特斯拉型*****无氧铜腔实验腔，*****特斯拉型不锈钢实验腔。阴极端子、阴极、气体（**气）流量阀、***闸板阀、电缆（阴极同轴线、线圈电缆）、配电箱（机组、线圈电源、放电电源单独接空气开关）、接地保护等。其中真空腔的设计要求极限真空度≤*×**-* **，实验腔可加热至***℃。 采购数量：*台