项目名称：****

项目编号：**-****-*******

公告开始日期：****-**-**

公告截止日期：****-**-**

采购单位：****大学

付款方式：货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方*次性支付本项目的总额

联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后**个工作日内

到货时间要求：成交后**个工作日内

预算总价：******元

收货地址：****大学紫金港校区和同苑*幢****

供应商资质要求：符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

采购清单*

采购商品：****

采购数量：*

计量单位：台

所属分类：真空应用设备

预算单价：******.*

技术参数及配置要求：*.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸：******×******×******；******不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门和后门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为常闭门，便于设备清理维护；特点：镀膜设备与手套箱复合*体式设计，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠； *.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“*低*高”数显复合真空计； *.真空指标：极限真空：优于*.*×**-***；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空**小时)抽速：从大气抽至**-***≤*****；设备升压率≤*.***/*; *.水冷式基片台：抽屉式结构，承载最大小于***×***** 基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度*～** 转/分钟可调；蒸发源到样品可调节距离：****；蒸发源与基片距离约***-*****；基片台间接水冷。 *.金属源：水冷铜电极*组；蒸发电源:功率 *****，*台（可实现*拖*）；进口日本***； *.有机源：束源式控温有机蒸发源（最高温度***°），* 组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：*套（独立*** 智能温控蒸发）；采用日本*** 蒸发电源*+**-**；配*组气动挡板及源间防污隔板； *.膜厚控制系统：*******进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚，型号***-***，双探头； *.控制方式：采用 ***+液晶屏+工控机全自动控制； *.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 **.配备有循环水冷机及空气压缩机，各*台；

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