服务名称:**** --

数量:* --

计量单位:台 --

预算单价(元):****** --

技术参数:*. 腔室：外热式水平流单腔腔室； *. 样品台配有可拆卸片托，可放下最大 * 英寸晶圆； *. 反应温度：最高 ***℃，温度控制精度±*℃ *. * 路标准加热液态前驱体源，配置 ******** 高温快速 ***阀 （响应时间＜****）、手动阀、**** 不锈钢源瓶，源瓶及管路加热 温度 **-***℃，控制精度±*℃； *. * 路常温源，配置 ******** 快速 *** 阀（响应时间＜****）、 手动阀、**** 不锈钢源瓶； *. 含*路载气系统，全套 ******** 管路+*** 密封，前驱体源管路 具有在线清洗功能 *. 高性能真空系统，整机极限真空＜*×**-*****，真空漏率＜ *×**-* **·*/* *. 配置机械泵，额定抽速≥****/* *. 真空泵前级配置热阱，加热温度最高 ***℃，控制精度±*℃，用 于吸附、分解未反应的前驱体源； **. 进口压力传感器（真空计）,真空计前设有保护真空计的高效过 滤网以及气动隔膜阀； **. 高精度 ***+工控机沉积自动控制系统，满足高精度 ***沉积需 求 **. 可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调 节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数； **. 多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保 安全性； **. 沉积模式：连续模式、停流模式； **. 人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置 **. 在 *英寸硅片上以厂家提供的工艺配方沉积 *** 循环氧化锡， 以晶圆上至少 * 个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±*% --