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申购单号：***************** 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同
申购主题：***原子层沉积系统 送货时间：合同签订后*天内送达
采购单位：****大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：******.*
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
申购明细：
序号：*
采购内容：***原子层沉积系统
数量：*
预算单价：套
品牌：普迪真空
型号：***-*****
规格参数：*、真空腔室优质 *** 不锈钢真空室，尺寸约为 *****（宽） × *****（深） × *****（高）最终以实际设计尺寸为准，内外部电抛光处理； *、高真空泵：脂润滑分子泵；型号：北京中科科仪 ***/***,抽速：****/*； *、高阀及限流阀：高真空插板阀；可控限流阀，可控制腔室压力； *、机械泵：鲍斯真空 ***** 直联旋片式真空泵（单相），抽速：约 **/*； *、真空测量：*低*高数显复合真空计； *、电控气动粗抽阀、前级阀，电磁放气阀、充气阀； *、*路进气，采用 ****** ****** 流量计控制进气，流量计最大流量分别为***/*****，* 路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光 ** 管及 *** 接头混合后导入真空室前方靶面进气； *、* 台 **** 直流电源；* 个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 ****； *、********* 偏压工件台，转速 *-***** 可调节； **、控制系统采用德国西门子 ***+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。
质保及售后服务：按行业标准提供服务