东南大学-结果公告(CB102862024000517)
2024-05-08
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****-结果公告(*****************)
申购单号:*****************成交总额:******.*
申购主题:**** 送货时间:发布竞价结果后**天内送达
采购单位:**** 安装要求:免费上门安装(含材料费)
竞价开始时间:****-**-** **:**:** 收货地址:
竞价截至时间:****-**-** **:**:**
币种:人民币
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:
质疑说明:如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起*个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果:
采购项:**** 品牌: 型号:
成交总价:******.**
成交供应商:****
质保及售后服务: 按行业标准提供服务
技术参数: *、 镀膜室内净尺寸: ****×****×****;方箱式,前门旋转往右打开式,***优质不锈钢制造; *、 真空系统:采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统;机械泵抽速:不小于**/*;分子泵抽速:不下小于:*****/*; *、 真空极限:*.*×**-***(空载,经烘烤除气后); *、 圆形基片台结构,可承载最大***×***** 基片;;基片旋转:*~**转/分钟;加热:室温~***±*℃,可控可调,日本岛电***智能温控闭环控温; *、 磁控溅射靶源:*只*英寸圆形平面靶; *、 基片台配有偏压清洗功能,并配有直流脉冲偏压电源; *、 *台磁控溅射电源; *、 配有质量流量控制器*路,供**、**、**气体使用; *、 配备有循环水冷机和空气压缩机; **、 ***+触摸屏人机界面半自动控制系统; **、 报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 **、设备配备有独立机架及电控柜;
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