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截止时间：****-**-** **:**:**
申购单号：***************** 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同
申购主题：**** 送货时间：发布竞价结果后**天内送达
采购单位：**** 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：******
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
申购明细：
序号：*
采购内容：****
数量：*
预算单价：台
品牌：*
型号：*
规格参数：*、 镀膜室内净尺寸: ****×****×****；方箱式，前门旋转往右打开式，***优质不锈钢制造； *、 真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于**/*；分子泵抽速：不下小于：*****/*； *、 真空极限：*.*×**-***（空载，经烘烤除气后）； *、 圆形基片台结构，可承载最大***×***** 基片；；基片旋转：*～**转/分钟；加热:室温～***±*℃，可控可调，日本岛电***智能温控闭环控温； *、 磁控溅射靶源：*只*英寸圆形平面靶； *、 基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源； *、 *台磁控溅射电源； *、 配有质量流量控制器*路，供**、**、**气体使用； *、 配备有循环水冷机和空气压缩机； **、 ***+触摸屏人机界面半自动控制系统； **、 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 **、设备配备有独立机架及电控柜；
质保及售后服务：按行业标准提供服务