是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

*、真空系统
*.* 优于****-***
*.* 工作真空****-***
*.* 抽真空时间少于** ***
*.* 真空极限优于****-***
*、真空镀膜室
*.* 尺寸************ **
*.* 电机驱动旋转速度*-**转/分钟可调，配挡板
*.* 均匀性指标：** ** 直径范围内不均匀性±*%
*.* 承载最大直径*** **基片
*、磁控溅射源及电源
*.* 英寸磁控溅射靶*支
*.* 直流溅射电源*套，功率*** *
*.* 验收用靶材，铝，钛各*块
*.* 西门子 ***+触摸屏
*、电气控制系统
*.*固定流量控制 * 组氩气*路，流量计*** ****

配置清单：
*、小型镀膜机*台
*、加热样品台*套
*、射频电源*台
*、水冷机*台

质保期

所有硬件*年免费保修、所有软件终身免费保修升级。所有硬件过*年免费保修期后按原价维修（按投标货物价格数量表所列价格，更换*部件的按合同签订时的*部件价格，响应速度同保修期响应速度。质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。
质保期内由于设备本身原因而引起的*配件（易损件除外）的更换，其费用由供应商承担。
对于质保期以外设备的维护，供应商只收取成本费。
所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。

售后要求

质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，**小时内响应，指导客户维护，如确需上门服务，**小时内派员上门现场维护，并在*天内提供解决方案，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。