中标供应商名称

中标供应商地址

中标金额（元）

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无锡市滨湖区金桂路*号

********元整（￥*******.**）

中标标的名称

规格型号

数量

单位

单价（元）

服务要求

线列式磁控溅射镀膜系统升级改造*项

真空腔室

工艺室腔体

*/*-**

*

台

******.**

*.按国家有关产品“*包”规定执行“*包”，免费保修期*年（免费保修期从设备验收合格之日起计算）。

*.免费送货上门，免费安装调试，免费技术培训，提供终身保修服务。

*.货物若出现问题 *小时内响应，必要时*个工作日内派技术人员到现场维修解决问题。如果需要更换配件的，要求更换的配件应跟被更换的品牌、类型相*致或者是同类同档次的替代品，后者需征得用户方管理人员同意。若产品自带软件的，则须提供保修期内免费升级服务。

装片室腔体

**-**

*

台

******.**

无油干式真空泵

***-****

*

套

******.**

分子泵

***-*******

*

台

******.**

真空测量仪器及隔膜真空计

真空测量仪器

***-*****

*

套

*****.**

工艺气压监控用的隔膜真空计

******* .******;**-**

*

套

*****.**

矩形平面阴极

******-****

*

套

*****.**

溅射电源

********* ** ****(****)**

*

套

******.**

门阀（**）

***********

*

套

*****.**

角阀

***-****

*

个

****.**

高真空气动插板阀

***-***

*

个

*****.**

手动蝶阀

**-****

*

套

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加热温控系统

Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ工艺室加热模块

******

*

套

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Ⅳ工艺室采用铠装加热模块

******

*

套

*****.**

装片室加热模块

******

*

套

*****.**

传输系统与移动样品架

传输系统

**-*****/***可调

*

套

*****.**

移动样品架

安装面积*****×*****

*

套

****.**

质量流量计

**-**

*

套

*****.**

水冷系统

**-**℃可调。水压大于*.****

*

套

*****.**

电气控制系统及触摸屏软件

定制

*

套

******.**

报警及保护系统

定制

*

套

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