采购项目：高真空磁控溅射仪

采购方式：****

推荐成交供应商：****

采购内容：高真空磁控溅射仪*套

成交价格：******.**元

项目联系人：顾震

评审日期：****年*月**日

主要技术参数、技术要求或施工内容：

*. 外形尺寸：***(*)×***(*)×***(*)

*. 输？电源：****/****, *****

*. 溅射靶头*：直流磁控溅射，可用靶材：金属靶材

*. 溅射靶头*：射频磁控溅射，可用靶材：无机非金属靶材

*. 真空系统：涡轮分子泵+旋片式真空泵

*. 抽速：***/*+*.**/*

*. 真空测量;复合式真空规

*. 量程范围:**-*~*****

*. 真空室:φ***×*****高硼硅玻璃

**. 抽气节拍：**分钟（≤**-***)

**. 样品台尺寸：****

**. 样品台切换：自动控制

**. 溅射靶材尺寸：φ****(厚度*.*-***)

**. 工作真空：*.*-***

**. 膜厚控制模块：可实现圆柱面旋转镀膜。

**. 具备加热模块：可实现镀膜时衬底加热，温度最高***℃。

**. 具备膜厚控制模块：在不使用样品台旋转和平台加热的情况下可实现纳米级膜厚控制。

**. 操作界面：*英？***触摸式液晶屏

**. 操作语言：中文（可选其它语言）

**. 冷水机功率：****

售后及质保：

产品都属于厂家原装合格产品：卖方保证所提供的货物是全新的、未使用过的原装合格产品且是最新产品，并完全符合合同规定的质量、规格和性能要求。

设备质保期为自项目验收合格之日起*年，质保期内：

*. 提供免费上门维护服务，并承担由此产生的*切费用。

*. 质保期内因用户不正常使用造成的仪器损坏，维修只收取成本费。

*. 故障响应时间： 接到故障通知后*小时内响应。如有上门必要，工程师将在*个工作日上门维护。

质保期后：

*. 提供技术支持和设备维护，维修只收取材料成本费和人工成本费。

*. 出现技术、质量故障，提供**小时技术支持服务。

公示期****年**月**日-****年**月**日;

如对采购评审结果有异议，请于****年**月**日**:**时前以书面形式向****理工大学信息科学与工程学院采购工作管理小组（联系人：****，联系电话：***-********，地址：****理工大学实验**楼***室）提出异议，公示期满无质疑，不再另行公告评审结果。

****理工大学信息学院采购工作管理小组

日期：****年**月**日