****受****电力大学的委托，就“****电力大学微纳结构表面加工系统项目（*次）”项目（项目编号：******-************ ）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

*、项目信息

项目编号：******-************

项目名称：****电力大学微纳结构表面加工系统项目（*次）

项目联系人：****

联系方式：***-********转****、***********

*、采购单位信息

采购单位名称：****电力大学

采购单位地址：********区回龙观北农路*号

采购单位联系方式：**** ***-********

*、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

招标用途：自用

招标内容：

本次招标共*包：主要采购内容为：紫外激光微加工系统、微流控芯片加工系统、微纳结构表面镀膜光刻系统（详见第*章招标需求）。

招标范围包括：上述货物的供应、安装、调试及有关的服务。具体采购范围及所应达到的具体要求，以本采购文件中商务、技术和服务的相应规定为准。投标人的投标文件必须满足本次采购的实质目的，完全实现所应有的全部要求。投标人若存在任何理解上无法正确确定之处，均应当按照招标文件所规定的投标前的澄清等程序提出，否则，可能导致的任何不利后果均应当由投标人自行承担。

1. 交货期：合同签订后***日历日。

1. 交货地点：****电力大指定地点。

招标需求*览表

品目号	招标需求	预算 (人民币)	简要要求	是否接受进口产品
*	微纳结构表面加工系统	****元	具备微流控芯片制作、衬底片（硅、*氧化硅、氮化硅）微结构制作及光刻胶等离子体去胶功能、清洗功能。其中微纳结构表面镀膜光刻系统指标如下：超净间达到*级标准，具备匀胶、烘烤、曝光、显影、去胶功能等前处理功能。曝光线宽达*μ*（*μ*正胶，*****波长情况下）；微流控芯片加工系统的指标如下：曝光面积: ***** * *****；分辨力：***(胶厚***正胶，*****波长)；对准精度：≤±***；样片尺寸：直径？****-*****，厚度*.***-***；紫外激光微加工系统指标如下：最小刻蚀宽度：*μ* (对**）；最大刻蚀深度：*μ* (对**）；基片尺寸：***** * ****；刻蚀深宽比：*：*(对**）;刻蚀均匀性：±*%(* **** **片);可刻蚀材料：**, ****, *****。	否

*、采购代理机构信息

采购代理机构全称：****

采购代理机构地址：****市海淀区车公庄西路乙**号华通大厦*座南塔**层

采购代理机构联系方式：**** ***-********转****、***********

*、中标信息

招标公告日期：****年**月**日

中标日期：****年**月**日

总中标金额：***.* *元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

序号	中标供应商名称	中标供应商联系地址	中标金额(*元)
*	****	****市顺义区南法信镇金关北*街*号院*号楼*层***室	***.******

本项目招标代理费总金额：*.** *元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

参照计价格【****】****号文件、发改办价格【****】***号文件

评审专家名单：

龙寅、韩长春、葛粉利、王永涛、王晓东

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

见其它补充事宜

*、其它补充事宜

序号	名称	型号	数量（台/套）	单价
*	紫外激光微加工系统	无	*	******.**
*	微流控芯片加工系统	无	*	******.**
*	微纳结构表面镀膜光刻系统	无	*	******.**

1. 交货期：合同签订后***日历日。
2. 交货地点：****电力大指定地点。
3. 公示期：*个工作日

公告概要：