项目名称：工科物理实验建设(*期)-磁控溅射系统

项目编号：**********

公告开始日期：****-**-**

公告截止日期：****-**-**

采购单位：****大学

付款方式：货到验收付款

联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后*个工作日内

到货时间要求：签约后**个工作日内

预算总价：******元

收货地址：****省****市****区文化路*巷****大学建筑学馆

供应商资质要求：符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

采购清单*

采购商品：磁控溅射系统

采购数量：*

计量单位：台

所属分类：其他仪器仪表

预算单价：******.*

技术参数及配置要求：*、溅射腔体：约Φ***×******；***不锈钢焊接腔体，圆柱式，前开门配观察窗；后置抽气系统； *、真空系统 *.* 抽气系统 *）机械泵+分子泵*级真空系统 *）前级泵：采用***-**机械泵及电磁压差式充气阀，抽速：**/* *）主抽泵：分子泵，抽气速率：***/* 接口法兰：****，转速：******** 极限压强：*×**-*** *）主抽阀：**-** 超高真空电动闸板阀，用于分子泵与沉积室隔离，可调节分子泵抽速从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。 *）旁抽、前级阀门： ***-*** *）放气阀：电磁截止阀（****-*）用于真空室解除及真空充气使用。 *.* 真空测量：全量程数显复合真空计，测量范围：*×***～*×**-***；真空测量采用“*低*高” *.*系统性能指标 *）极限真空度：优于*.*×**-*** （连续抽气**小时达到） *）恢复真空：从大气抽至*×**-***≤**分钟（充干燥氮气并且真空室内无放气量大的材料） *）真空室漏率：关机**小时真空度≤***。（新设备空载，极限真空后关机） *、磁控溅射靶 数量：*套 *）磁控溅射靶磁路模块化设计，靶材直接水冷；磁铁不泡水，避免磁铁腐蚀退磁；磁路模块化，方便不同应用随时更换； *）靶材大小为直径**.***，建议厚度≤***，靶材利用率超过**% *）镀膜方式：由上往下溅镀；共焦（溅射靶角度可调） *）镀膜均匀性：*英寸范围内薄膜厚度均匀性优于±*%； *、样品台 *）样品台：抽屉式结构可装载最大*英寸基片托（方片尺寸**×****）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。 *）样品台旋转：转速*-*****连续可调；步进电机控制，转动平稳。 *）样品台加热：采用数字温控仪，最高温度***℃，自动控温及数字显示，精度±*.*℃，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±*℃。 *）样品台上方设置气动基片挡板； *、溅射电源 *）射频电源：功率****，频率**.*****，全自动匹配*体机；数量*套 *）直流溅射电源：最大输出功率：****；输出电压：*～-****可调 数量*套 *、工艺气路 质量流量计控制器，最大流量********路，可向真空腔体中通入惰性气体； 配有电磁截止阀控制进气。 *、控制单元 *）采用***+触摸屏控制，可实现自动*键式抽真空，溅射电源手动以方便用户进行镀膜工艺参数的索； *）控制内容：总供电、分子泵、机械泵、阀门；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计、质量流量控制器参数显示及控制；基片台转速控制；基片加热温度控制等； *）安全保护报警系统：在缺水、水压过低、电源过流、短路等异常情况执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 *、工业冷水机 采用微电脑***控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±*℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。 *）标准制冷量：**** ****/* *） 输入功率：*.** ** *）冷冻水量（**/*）：*.** *）水箱容量（*）：** *）安全保护：压缩机过热，过流，高低压力，超温，流量，相序，排气过热保护 *）外形尺寸：长*****×宽*****×高*****

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