****受中科院****硅酸盐研究所的委托，就“****”项目（项目编号：****-************）组织采购，评标工作已经结束，成交结果如下：

*、项目信息

项目编号：****-************

项目名称：****

项目联系人：李荣

联系方式：***********

*、采购人信息

采购人名称：中科院****硅酸盐研究所

采购人地址：****定西路****号

采购人联系方式：****

*、采购代理机构信息

采购代理机构全称：****

采购代理机构地址：****长寿路***号恒达大厦**楼

采购代理机构联系方式：****

*、成交信息

招标文件编号：****-************

本项目招标公告日期：****年**月**日

成交日期：****年**月**日

总成交金额： **.* *元（人民币）

成交供应商名称、地址及成交金额：

谈判小组、询价小组成员名单及单*来源采购人员名单：

王庆康 张轩雄 李荣

*、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

设备用途：用于多层金属膜和介质膜溅射，以及反应溅射用磁控溅射系统。

技术要求

2. 真空室：材质为***不锈钢，内部尺寸应满足配置*个*英寸溅射靶需求，但*维尺寸要求紧凑避免安装体积过大；真空室前开门，门上有直径不小于*英寸的观察窗并有挡板以防辐射；溅射方式采用从上往下方式；抽真空系统设置在真空室后部；真空室侧壁有*个备用法兰接口以备增加*英寸溅射靶使用；真空室内部附带*套可拆卸不锈钢内衬；设备带支撑地脚和滚轮；
3. *真空系统：高真空泵：脂润滑涡轮分子泵；高阀：采用电控气动插板阀；机械泵：极限真空优于**-*****，带防返油过滤器，正常养护条件下有效使用时间不少于****小时；真空计：真空室（主工艺室）压力检测量程从大气压到**-*****，送样室和分子泵高压端压力检测量程从大气压到**-*****；电控气动粗抽阀，真空室放气阀；极限真空：真空室（主工艺室）极限真空优于**-*****，从大气抽到极限真空时间不多于**小时（室温**摄氏度环境下），从大气抽到工作真空（**-*****）时间少于**分钟；
4. 进样室及传送装置：材质为***不锈钢，带直径不小于*英寸观察窗；*可以传送直径*英寸工件盘，样品最大尺寸Φ***×****，传送重量（样品带工件盘）不小于**克；传送装置累计使用****次内无故障；与主工艺室共用机械泵；
5. 气体控制：*路进气，采用流量计控制进气，气体混合后导入真空室前方，和靶枪位于基本相同高度；*流量计最大流量分别为***、**、******，*******流量计采用**标定，******流量计采用**或**标定；
5. *溅射靶枪：*个*英寸圆形靶枪，角度可调，杆状安装，共焦向下溅射，可独立溅射和共溅射；可以溅射厚度最大为*.****非磁性靶材，阳极罩与靶枪螺纹旋转连接，方便调整与靶面间距，以适应不同厚度的靶材；靶枪直流、射频兼容，靶枪电源线采用同轴屏蔽电缆线；靶枪和工件距离***~*****可调节；每个靶枪带独立的电控气动挡板；*每个靶枪的水冷管道带独立的水流检测器；
6. *溅射电源

• 配置*个直流电源，输出功率控制模式，每个最大溅射功率*****，误差小于***；
• 每个直流电源连接到*个靶枪；
• 可以实现*个靶枪直流共溅射；
• 硬件互锁保护（真空度，真空室门，冷却水）；
• 主控计算机控制开关及输出功率；
• *射频电源，
• *个****射频电源，最大输出功率****，频率**.*****，自动匹配，匹配时间少于**，工作时反射功率小于**；
• 可以连接到*个靶枪实现射频溅射，并可以自动切换到工件台实现射频偏压预清洗；
• 硬件互锁保护（真空度，真空室门，冷却水）；
• 主控计算机控制开关及输出功率；

7. 样品工件台：可容纳直径*英寸工件；旋转轴水冷保护；转速*~*****可调节；工作台可加偏压；*样品最高加热温度***℃，控温精度优于+/-*度；
8. 溅射速率及均匀性，溅射速率：*在*英寸范围内膜厚非均匀性不大于±*%，*英寸范围内不大于±*%。非金属靶材：压力*.***到***内，至少为*.**/*；金属靶材：压力*.***到***内，至少为**/*;系统自动控制及其他：基于*******操作系统的计算机控制系统，图形化界面，操作简单直观，平板显示器，鼠标和键盘控制；**+***模式，基于工业控制软件开发平台开发的控制软件，控制软件要方便在**机之间更换，控制软件运行日志；全自动控制系统，所有操作可以在计算机上完成，可以实现“*键式”全自动操作，工件放入真空室后，选择编辑好的工艺文件，设备自动执行抽真空、加热、多层膜镀制、真空室放气等所有操作；有*种操作模式：手动、自动和维修模式；所有循环水的出水和回水都带有开关，方便维修不影响其他管路；

质保期：设备验收后*年质保（从签字验收日期开始计算）

*、成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

成交货物名称：****

数量：*套

成交金额：人民币**.**元

质保期：设备验收后*年（从签字验收日期开始）

*、其它补充事宜

本项目的成交结果以此公告为准，如对此结果有异议，请于本结果公布之日起*个工作日内以书面形式向****（地址:****市长寿路***号恒达大厦**楼，邮编：******，联系人：****，联系电话：***-********，传真：***-********）提出质疑，并附相关证明资料。