工科物理实验建设(六期)-磁控溅射系统（JJ24000088）采购公告
项目编号：
业主
单位
联系电话：查看
代理
单位
联系电话：查看
正文
工科物理实验建设(*期)-磁控溅射系统（**********）采购公告
| 项目名称 | 工科物理实验建设(*期)-磁控溅射系统 | 项目编号 | ********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** | 公告截止日期 | ****-**-** |
| 采购单位 | ****大学 | 付款方式 | 货到验收付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预 算 | --- ******.* | ||
| 收货地址 | ****省****市****区文化路*巷****大学建筑学馆 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件
|
||
| 公告说明 | |||
采购清单
*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射系统 | * | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌* | 杭州大华 |
|---|---|
| 型号 | ***** ***-** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算 | ￥******.* |
| 技术参数及配置要求 | *、溅射腔体：约Φ***×******；***不锈钢焊接腔体，圆柱式，前开门配观察窗；后置抽气系统； *、真空系统 *.* 抽气系统 *）机械泵+分子泵*级真空系统 *）前级泵：采用***-**机械泵及电磁压差式充气阀，抽速：**/* *）主抽泵：分子泵，抽气速率：***/* 接口法兰：****，转速：******** 极限压强：*×**-*** *）主抽阀：**-** 超高真空电动闸板阀，用于分子泵与沉积室隔离，可调节分子泵抽速从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。 *）旁抽、前级阀门： ***-*** *）放气阀：电磁截止阀（****-*）用于真空室解除及真空充气使用。 *.* 真空测量：全量程数显复合真空计，测量范围：*×***～*×**-***；真空测量采用“*低*高” *.*系统性能指标 *）极限真空度：优于*.*×**-*** （连续抽气**小时达到） *）恢复真空：从大气抽至*×**-***≤**分钟（充干燥氮气并且真空室内无放气量大的材料） *）真空室漏率：关机**小时真空度≤***。（新设备空载，极限真空后关机） *、磁控溅射靶 数量：*套 *）磁控溅射靶磁路模块化设计，靶材直接水冷；磁铁不泡水，避免磁铁腐蚀退磁；磁路模块化，方便不同应用随时更换； *）靶材大小为直径**.***，建议厚度≤***，靶材利用率超过**% *）镀膜方式：由上往下溅镀；共焦（溅射靶角度可调） *）镀膜均匀性：*英寸范围内薄膜厚度均匀性优于±*%； *、样品台 *）样品台：抽屉式结构可装载最大*英寸基片托（方片尺寸**×****）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。 *）样品台旋转：转速*-*****连续可调；步进电机控制，转动平稳。 *）样品台加热：采用数字温控仪，最高温度***℃，自动控温及数字显示，精度±*.*℃，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±*℃。 *）样品台上方设置气动基片挡板； *、溅射电源 *）射频电源：功率****，频率**.*****，全自动匹配*体机；数量*套 *）直流溅射电源：最大输出功率：****；输出电压：*～-****可调 数量*套 *、工艺气路 质量流量计控制器，最大流量********路，可向真空腔体中通入惰性气体； 配有电磁截止阀控制进气。 *、控制单元 *）采用***+触摸屏控制，可实现自动*键式抽真空，溅射电源手动以方便用户进行镀膜工艺参数的索； *）控制内容：总供电、分子泵、机械泵、阀门；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计、质量流量控制器参数显示及控制；基片台转速控制；基片加热温度控制等； *）安全保护报警系统：在缺水、水压过低、电源过流、短路等异常情况执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 *、工业冷水机 采用微电脑***控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±*℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。 *）标准制冷量：**** ****/* *） 输入功率：*.** ** *）冷冻水量（**/*）：*.** *）水箱容量（*）：** *）安全保护：压缩机过热，过流，高低压力，超温，流量，相序，排气过热保护 *）外形尺寸：长*****×宽*****×高***** |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;需提供免费上门技术培训，有专门技术工程师负责指导使用，培训内容包括：系统原理、实验操作、电气控制的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）；每年免费提供*次设备巡检，能够对设备进行长期维护和检修；随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行；; |
展开全文
推荐公告
更多-
辽宁越秀辉山控股股份有限公司2024年农牧事业部下属各...
招标单位：
辽宁越秀辉山控股股份有限公司
项目金额：
暂未确定
沈阳 2024-04-28 -
品牌：西门子冰箱，型号：KF86NAA95C,颜色：雨...
招标单位：
沈阳市沈北新区人民法院
项目金额：
6273.00元
沈阳 2024-04-28
-
抚顺石化公司烯烃厂2024年低砷磷酸框架采购（二次）
招标单位：
中国石油天然气股份有限公司抚顺石化分公司
项目金额：
暂未确定
抚顺 2024-04-28
-
大连港出口产品船舱内绑扎系固业务招标公告
招标单位：
本溪钢铁（集团）国贸腾达有限公司
项目金额：
暂未确定
本溪 2024-04-28
-
2023年第一批医疗设备采购项目（四次)（3包）公开招...
招标单位：
详见公告详情
项目金额：
180.00万元
大连 2024-04-28
