广西大学-竞价公告(CB105932018000621) —— 加热板,无油真空泵浦系统,匀胶旋涂仪
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正文
****大学 - ****公告 (*****************)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 加热板,无油真空泵浦系统,匀胶旋涂仪 |
| 申购单类型： | ****类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| ****开始时间： | ****-**-** **:** |
| ****结束时间： | ****-**-** **:** |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 加热板 | * | 台 | ******** | ***-** | 是 | *、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；*、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；*、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；*、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；*、其他按行业标准提供服务； | ★*、 技术参数 *. 采用***方式，可高精度地进行温度控制。 *. 主体正面面操作部分与顶板之间装有安全灯（顶板温度在*****下时亮灯）。 *. 顶板采用铝合金，其表面喷涂陶瓷涂层，具有非常好的耐腐蚀性。 *. 最高温度（℃）：***** *. 加热尺寸（**）：***×*** *. 重量（**）：*.*** ★*、配置 *. 热板主机 *. 电源线 *. 说明书 | 无 |
| 无油真空泵浦系统 | * | 套 | ****** ****** **** | ********* | 是 | *、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；*、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；*、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；*、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；*、其他按行业标准提供服务； | ★*、 技术参数 *. 真空泵：无油型 ***~***伏交流，**/**赫兹。 *. 真空吸附范围**-** 英寸汞柱 (~***-***毫米汞柱)可调节，抽速不小于*.* **** (*.** 立方米/分钟)。 ★*、配置 *. 真空泵主机 *. 电源线 | 无 |
| 匀胶旋涂仪 | * | 套 | **** ********* | **-*****-****** | 是 | *、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；*、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；*、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；*、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；*、其他按行业标准提供服务； | ★*、 技术参数 *. 系统概述 *.* 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全。 *.* 防腐装置 *.* *设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护。 *.* 通信接口，蓝牙连接。 *. 处理腔体 *.* 处理腔体内径不小于*.*英寸 (***毫米)。 *.* * *****芯片尺寸至少满足**-*****直径的材料，方片*********，无需更换片托。 *.* 腔体具有易清洁的***天然聚丙烯材质。 *. 旋转马达 *.* 转动速度至少满足*-**,******。 *.*旋涂加速度不小于**,******/***。 *.*马达旋涂转速稳定性能误差不超过±*%。 *. 控制系统 *.* 工艺时间设定范围至少满足*-****.* ***/**** ，精度不超过*.**。 *.* 配有高精度***可编程的控制器，设置点精度小于*.***%。 *.* 可存储不少于**个程序段，每个程序段可设置不少于**个不同步骤的速度状态。 *.* *分辨率要小于*.****，重复性误差要小于±*.****，具有国际标准认证，并且无需再校准。 *.系统附件 *.* *免费赠送基于*******的操作软件 *.* 原装进口水平测试仪 *.* *袋密封圈 *.* *配有*套可更换的废液接收单元 ★*、配置 *. 匀胶旋涂仪主机：满足**-*****直径的材料。 *. 真空托盘：真空托盘适用于*、*、*晶圆片。 *. 系统附件：真空及***管路、废液排放装置。 *. 安装文档：快速安装指南，出厂报告。 *. 报价包含运输的运费和保险。 | 无 |
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