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磁控溅射镀膜机竞争性磋商公告

招标-竞争性磋商 2024-01-15 纠错
项目编号: S2024002
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  • 项目进度

正文

****  ****公告

*、项目名称:****

*、项目编号:********

*、采购人:****大学采购与招投标管理中心

地址:****省****市东环路**号凌云楼***

邮编:******       传真:****-********

联系人:****      电话:****-********

电子邮箱:******@****.***.**

技术联系人:李老师    电话:***********

电子邮箱:****@****.***.**

*、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

****  *

*.靶位:*个靶位,为*英寸溅射靶。每个靶位需配有独立挡板。靶位之间需放置隔板,防止交叉污染。

*.磁钢:磁控溅射靶头可摆角度,可寻找最佳溅射角度, 聚焦于共同点,靶角度调节精度为*°,溅射靶全部通水冷,保护磁铁在高温溅射过程中消磁,工作压强(溅射)*.* ***** **,溅射不均匀性≤±*%。

*.基片:适用*英寸×*英寸样品的均匀制备,可加热至***°*,并可旋转,转速在***/分钟连续可调。

*.水冷:衬底基片、靶位和分子泵带水冷系统,冷却水箱容量>**,可主动降温。

*.真空度:气压可达到*×**-*****分钟可达到*×**-***,系统停泵关机** 小时后真空度≤***

*.电源:配置*台射频电源,输出功率*****, 输入电源******************* ******,工作频率*.*****,输出阻抗**±*****

*.样品预处理室:需配有进样室,能够在真空条件下对样品在进样室和主舱之间传送。预处理室需配有机械泵,极限真空可达****以下。

*.分子泵:抽速须大于*****/*

*.气路:配有至少*个质量流量计控制的气路,分别为氩气、氩气/氧气混合气体、氮气,最大流量均为*******

**.真空计:复合真空计,常压~**-***,并配有薄膜规。

**.均匀性:在*.***×*.***的基片上,厚度偏差应在*%以内。

**.具有可编辑的溅射程序,可*键完成全部溅射程序。

**.提供详细配置清单并注明主要部件生产厂家或品牌。

**.质保期不少于*年。

*、评分标准

本次磋商采用综合评分法,总分为***分,具体内容如下:

(*)技术参数、配置及整体综合性能分(**分)

*.技术参数及配置(**分)

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据,其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

*)所提供产品多项不满足磋商公告要求(偏离),或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经磋商小组评审可作为无效响应文件。

*)所提供产品不满足磋商公告要求(偏离)、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的,每处扣*分。

*.综合性能情况(**分)

*)所提供产品性能参数优于****文件中技术要求情况(磋商小组认为超出指标有意义的)(*分)。其中优于项,每处加*分。

*)所提供产品的市场反馈情况(*分)。

根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

(*)价格分(**分)

*.基准价:满足****文件要求且价格最低的报价为基准价,基准价为满分**分。

*.其他供应商的报价得分按照下列公式计算:报价得分=(基准价/报价)×**分。

(*)综合商务(**分)

*.综合实力(*分)

根据供应商综合实力评定。

*.售后服务与培训情况等(**分)

*)质保期(*分)。符合磋商文件要求的,得*分,每增加*年质保期加*分。

*)服务、技术支持与培训承诺情况(*分)。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

*.其它优惠措施等(*分)

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外,磋商小组认可的优惠措施综合评定。

*、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的*切费用。

*、供应商资质要求

(*)具有独立承担民事责任的能力;

(*)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

(*)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

(*)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

(*)近*年内,在经营活动中没有重大违法记录;

(*)本项目不接受联合体报价。

*、磋商响应文件的组成

(*)磋商响应文件*般由下列材料组成(部分表格样式见附件*),复印件须加盖供应商公章,所有材料须按序装订成册:

*. 目录(磋商响应资料与页码对照表,原件)。

*. 磋商响应函(原件)。

*. 响应基本情况*览表(原件)。

*. 详细配置清单(原件)。

*. 技术规格偏离表(原件)。

*. 公司简介(包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等,原件)。

*. 资格证明材料

*)营业执照、税务登记证以及组织机构代码证(复印件)。

*)法定代表人授权书(原件)。

*)法定代表人身份证明材料(如身份证、护照等)(复印件)。

*)法人授权代表身份证明材料(授权代表投标需提供,如身份证、护照等)及单位社保证明(复印件)。

*)供应商最新的年度财务报表(复印件)。

*)仪器设备生产或经营企业许可证(如有,复印件,特殊行业必须提供)。

*)仪器设备销售代理授权证明(进口货物非生产制造厂商投标的,须按第*.*条要求提供,专项授权书提供原件、代理证书提供复印件)。

*)有关质量认证中心出具的质量体系认证证书(如有,例如:**********等,国家强制要求的设备必须提供,复印件)。

*)近*年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式(以教学、科研用户为主,原件)。

*. 服务措施、服务承诺(主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等)(原件)。

*. 供应商认为应该提供的其他材料。

(*)特别说明

*. “磋商响应文件”应装订并密封,并加盖投标单位公章。

*. 正本*份,副本*份,如副本与正本有出入,以正本为准;

*. 相关材料及填写规范按照《****大学招标采购仪器设备投标人须知》第*条“投标文件”中的具体要求执行。

*、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,参照《****大学招标采购仪器设备投标人须知》**条中的要求执行。

*、磋商文件价格:人民币***元(相关缴纳事宜详见附件*),售后不退。

**、报名:供应商在报名前,须认真阅读《****大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在*******日前将报名函(格式见附件*)发送邮件至采购人处(******@****.***.**)。

**、递交磋商响应文件相关事宜:

(*)顺丰快递邮寄方式(建议优先采用)

*. 寄达时间:********:**前。

*. 收件人信息:

 收件人:****

 联系方式:***********

 收件地址:****省****市东环路**号苏大东校区凌云楼***室(采购与招投标管理中心)

(*)现场递交方式

*. 递交时间:*************

*. 递交地点:****省****市东环路**号****大学东校区东大门

**、递交磋商文件截止时间:********:**

**、磋商时间:********:**

https://sites.suda.edu.cn/_ueditor/themes/default/images/icon_rar.gif ****公告附件.***


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