申购单主题：****

申购单位：采购办

设备*

设备名称：****

品牌：****

型号：*****-***-***-**

数量：*.*

报价类型：国内含税价/人民币

售后服务：

规格：*、****： *.*整机尺寸（约）：*****(*）****(*）******（*）（不含压力罐，恒温循环水槽尺寸），安装尺寸（约） ******(*）*****(*）******（*）； *.* 整机重量（约）：****（不含压力罐和恒温循环水槽重量）； *.* 基片材质：铜晶圆和硅晶圆； *.* 基片尺寸规格：*\*\** 寸，厚度 *.***； *.* 溶液名称：（*#显影液）***%碳酸钠：**℃±*℃，压力 *.*~*.**** （*#显影液）硫酸镁水溶液：**℃~**℃，压力 *.*~*.****， 纯水：**℃~**℃-压力 *.*~*.**** *.* 显影工艺要求：线宽为 **μ*，均匀性≤±*%； *.* 设备类型：手动上下片，* 个自动显影摆臂（固定 * 路显影液，* 路纯水，* 路氮气）； *.* 喷嘴到基片的高度为 ****； *.* 设备带排废功能； *.** 设备带抽风功能； *、设备构造： *.* 外壳：塑料 ** 材质，光滑、耐腐蚀、易清洗； *.* 显影腔：塑料 ****（聚*氟乙烯）材质，光滑、耐腐蚀、易清洗； *.* 管路：管路接口位于机台下/后部，管道采用 ** 与 *** 材质配套使用； *.* 摆臂：* 个自动摆臂，自动显影摆臂可在腔体内设定范围内任意位置自动摆动； *.* 载物盘：材质 ***； *.* 调平底脚：可调节设备水平； *.* 触摸屏：* 寸全彩触摸屏； *.* 电气部分: 采用 *** 控制。 *.* 设备整机由****、加热装置和压力罐组成； *.**设备带有 * 寸全彩触摸屏，所有工艺参数调整设置均可在此操作面板上进行； *.**设备带有 * 个自动摆臂。自动摆臂通过程序控制旋转，并且在显影过程中，自动摆臂是同时可以摆动的； *.**设备底部装有调平脚座，可调节设备水平。 *.**内腔采用耐腐蚀材料加工，表面光滑、易清洗。内腔底部设有排废口，利用重力作用，可让废液排至厂务排废管道，腔体内设有抽风口，可抽出部分气氛。因 *#显影液为弱酸性，若设备进液会导致内部*件被腐蚀，故载物盘为卡爪形式。

更多咨询报价请点击：****(************)