*、项目基本信息

*、项目编号：*******-**-******

*、项目名称：*-****步进式光刻机采购项目

*、采购方式：定向采购

*、项目需求：*-****步进式光刻机*台。

*、申请理由及依据

*、申请理由：*-****步进式光刻机是应用于大规模集成电路领域的核心产品。我校拟采购*台最小分辨率达到*****、兼容*英寸及以下晶圆尺寸的*-****步进式光刻机，用于支持第*代半导体研究，包括但不限于光电、功率器件、微波射频等方向。同时本次拟采购的产品要求为原厂生产的全新产品，以降低后续运维成本。

经多方调研，目前全球范围内能量产*-****高精度光刻机有厂商有****（下称“日本佳能”）、尼康株式会社（下称“日本尼康”）、**** ******* *.*（下称“荷兰阿斯麦”）以及上海微电子装备（集团）股份有限公司（下称“上海微电子”）。其中，日本尼康和荷兰阿斯麦已经不生产*英寸以下*-****步进式光刻机，上海微电子生产的*英寸以下的*-****步进式光刻机最小分辨率为*****，精度不能够满足我校的科研要求。只有日本佳能可生产*英寸以下的*-****步进式光刻机，且光刻最小分辨率可达*****。因此，只有日本佳能生产的*-****步进式光刻机能满足本项目技术要求。此外，日本佳能可提供原厂生产的全新产品以及专业的原厂售后服务，为日后产品的使用和保养提供了稳定可靠的技术支持和服务保障，降低运维成本。

综上，本项目拟以定向采购方式，向****采购*-****步进式光刻机*台。

*、申请依据：本项目符合《香港科技大学（****）采购管理制度》定向采购使用范围中第（*）点“货物或服务只能由唯*供应商提供”的情形。

*、拟定供应商

*、供应商名称：****；地址：***-**** 日本国东京都大田区 *丁目，下丸子 **-*

*、公示期限

自本公告发布之日*个工作日

*、采购人联系方式

联系人：****

联系电话：***-********

联系邮箱：************@*****-**.***.**

香港科技大学（****）采购处

****年**月**日