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截止时间：****-**-** **:**:**
申购单号：***************** 签约时间：发布****结果后*天内签约合同
申购主题：双靶磁控溅射镀膜机 送货时间：合同签订后*天内送达
采购单位：****大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税普通发票
币种：人民币
预算：******.*
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：进口设备请务必填写原产地，否则视为无效报价。
申购明细：
序号：*
采购内容：双靶磁控溅射镀膜机
数量：*
预算单价：
品牌：双靶磁控溅射镀膜机
型号：双靶磁控溅射镀膜机
规格参数：总体要求，双靶磁控溅射镀膜机，可实现金属薄膜制备、化合物薄膜制备以及复合薄膜的制备。具体要求如下。 *.主要技术参数： 溅射膜厚均匀性±*%。****，全自动执行。样品台最高可加热至 *** ℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，精度±*℃；温度均匀性在衬底上的偏差约≤ *%；样品台可兼容*英寸和*英寸样品的安装，*套放置*个直径**.***样品，*套放置*个直径*****样品；样品台可施加偏压，在镀膜前对样品进行等离子体清洗。样品台可旋转，速率在*-**转/分钟可调。通过调整样品台可实现靶基距地调整（**-****可调）。极限真空优于*.***-***，抽空至**-***小于**分钟。 *.主要配置 真空系统：** 机械泵+**** **-***/*** 分子泵,配备超高真空插板阀；* 型真空室,真空室尺寸大于 ***** ×*****× *** **，* 型结构，正面开门结构，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰。带*套数显真空测量仪，可实现高低真空的测量。 溅射靶*套：*套射频溅射靶，*套直流溅射靶。靶材表面磁场分别均匀， 有效提高靶材利用率；溅射靶角度可调，高度可调，自带挡板。可以采用垂直或共焦溅射的方法在该靶对应的基片位置制备薄膜。 窗口及法兰接口部件：直径大于 *** 玻璃窗口：* 块； 陶瓷封接引线法兰：* 个；此外预留功能拓展接口。 工作气路：*** ****（**气标定）、******（氮气标定） 质量流量控制器各*套、配截止阀及混气装置。 电源：加热温控电源*套直流溅射电源*套：功率 ****；射频电源*套：功率 ****，含自动匹配器，可切换输出； 安装机台架组件：型材框架，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；*只脚轮，可固定，可移动； 水冷系统：配备冷水机，满足系统长时间工作要求。 控制系统：带触摸屏控制，控制的内容主要有电源切换、样品自转、样品控温、质量流量控制器等，系统配备进口膜厚测量仪，含原装水冷探头，在线监测镀膜速率。 说明书及图纸：设备操作、维护手册（*本）；全套外购部件的使用、维护说明书（*套）；设备结构原理图及关键部件结构图（*套）；电控系统原理图（*套）；装箱单（*套）；合格检验证明（*套）。 配件：除设备自带的全部配件外，额外提供如下配件：观察窗玻璃*快，腔门密封圈*套，*寸和*寸载片夹具各*套，其他易耗的小配件。
质保及售后服务：按行业保质期：*年，设备验收合格后算起。 培训：时间：*天，培训人数**人，培训内容：*）了解多功能系统的工作原理、组成及各组成部分的使用方法；*）熟练掌握整机系统及各*部件的操作使用方法；*）了解并掌握设备*般故障的诊断方法，并能进行日常维护。 标准提供服务
附件：