申购单号：***************** 签约时间：不签订合同
申购主题：**** 送货时间：发布****结果后*天内送达
采购单位：**** 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税普通发票
币种：人民币
预算：******
付款方式：*.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明：
申购明细：
序号 采购内容 数量 预算单价
* **** *.*套
品牌 泰科诺
型号 *******
规格参数 ※*.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸不小于: ******×******×******；******不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠； ※*.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统； ※*.真空指标：极限真空：优于*.*×**-***；(设备和手套箱分离，设备空载抽真空**小时内) 抽速：从大气抽至**-***≤*****；(设备和手套箱连接，设备空载) 设备升压率≤*.***/*; ※*.基片台：抽屉式结构，最大承载不小于***×*****基片； 配有气动基片台挡板；基片 台电机驱动，旋转速度*～**转/分钟可调；基片台水冷温度：**～**℃，需免费提供掩膜板*套； ※*.金属蒸发源:水冷铜电极*组；逆变式蒸发电源:功率 ***; *台；每台电源可切换不同蒸发源； ※*.有机蒸发源：控温有机蒸发源（最高温度***°），*组；角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：*套（独立***智能温控蒸发）； *.气动挡板及源间防污隔板*套 *.控制方式：需采用***+触摸屏半自动控制； *.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 ※**.膜厚控制系统*套：薄膜厚度显示精度*.* 埃；沉积速率显示精度 *.** 埃/秒；通用型探头*支。 **.文档资料： ①设备操作、维护使用说明书*套； ②设备电气原理图*套； ③设备易损件清单*套； ④装箱单； ⑤设备出厂合格检验证明。 ※**.其他要求： ①整机质保不低于*年，代理商需提供原厂家售后服务承诺书； ②具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评； ③生产厂家需提供金属电极相关工艺参数，需现场演示制备。
质保及售后服务 按行业标准提供服务，质保期**个月。