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磁控溅射真空镀膜机

招标-竞价 2021-02-02 纠错
项目编号: CB106982021000265
业主 单位

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代理 单位

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  • 公告详情
  • 项目进度

正文

****
申购单号:***************** 签约时间:发布****结果后*天内签约合同
申购主题:**** 送货时间:合同签订后**天内送达
采购单位:**** 安装要求:免费上门安装(含材料费)
报价要求:国产含税 收货地址:****省/****市/****区/****
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:******
付款方式:*.货到安装、调试、验收合格后,付全款。
备注说明:
申购明细:
序号 采购内容 数量 预算单价
* **** *.*套
品牌 驰诚
型号 ****-***-**
规格参数 *、真空镀膜机腔体。 腔内径:ф********;高品质***不锈钢材质外加强筋加固;腔体底座使用方钢制作;腔体抽气口与真空抽气泵配套且安装过滤窗,内侧衬板方便拆卸与更换;腔体门上设计观察窗并配遮挡板。 *、真空镀膜机抽气系统 **-***/****涡轮分子泵*台,品牌:北京中科科仪抽气速度≥*****/*;罗茨泵*台品牌:*川华新南光,抽气速度≧****/*;粗抽泵*台(直连泵),品牌:宁波鲍斯,抽气速度≧****/*;维持泵(直连泵):*台,品牌:宁波鲍斯 抽气速度:≧****/*;不锈钢真空管道*套,连接处不锈钢波纹管;每台抽气泵备真空阀门,阀门为气动挡板阀,电控控制,铝合金气缸。 *、工件旋转系统 配*套工件转架,工件转架采用公转与自转方式,自转轴*轴;配*套变频机可无极调整;工件旋转电机可正向、反向旋转。 *、 冷却系统 进出水管使用*种颜色区分进水与出水并表示水流向;布线规范整齐、安全。 *、磁控溅射靶系统。 溅射速率和均匀性的提升技术,采用圆柱中心柱状靶*只, 合理设计与基材的距离,搭配直流溅射电源,可进行多种靶材的溅射。 *、 电气控制系统 标准。电控柜*个,主要电气元件使用施耐德品牌;全自动控制系统**寸彩色触摸屏,日本*菱***;采用过流、过载、过热保护同时配缺水、缺气报警等保护功能;实现真空阀门自锁、互锁等安全保护;***可记录设备的详细工作过程和故障报警功能可实习镀膜工艺存储并调用。 *、主要技术参数。 极限真空:优于*.****-*** (净炉空载) 静态漏率:*.****/*(净炉空载) 抽速:空载大气抽到****-*&**;*****(净炉空载) 工作真空:浮动****-*** 更加稳定的真空度和均匀的溅射速率,会使膜层表面导电性更加均匀。 *、备件要求。 设备使用说明书:*份;主要配件说明书:*份;电气图:*份;大门密封圈:*件;设备易损阀门密封件:*套;设备易损加工绝缘件:*套;电阻规、电离规各*个;观察窗玻璃片:*件;镀膜机常用工具:*套。
质保及售后服务 *)按行业标准提供服务,设备验收合格之日起,质保期**个月。 *)质保期内由于设备本身原因而引起的*配件(易损件以及人为损坏除外)的更换,免费调试以及更换; *)质保期外,所有设备配件、备件仅收成本价; *)接到报修通知后,*小时内提供电话或视频响应;电话咨询不能解决的,在***内到达现场进行处理,*天内提供设备备件,确保设备正常工作。

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